K离子弱掺杂ZnO薄膜的光电性能研究
2015-10-21艾国齐汪延明苗振林袁章洁
科技与企业 2015年3期
艾国齐 汪延明 苗振林 袁章洁
【摘要】本实验通过在玻璃衬底上，采用溶胶-凝胶法制备K+、Mg2+共掺杂ZnO薄膜，固定K+与Zn2+摩尔比，改变Mg2+的掺杂含量，实验表明随着Mg2+掺杂量增加，薄膜的致密性更好，透光率不断提高，说明薄膜随着Mg2+浓度增加，结晶性能提高，Mg2+的掺入有利于薄膜的结晶，掺入薄膜中的离子浓度增大，从而增大了载流子浓度，但是当浓度过高时，过多的Mg2+进入间隙位会阻碍离子的运输，不利于薄膜的擇优取向生长。
【关键词】玻璃衬底；溶胶-凝胶法；ZnO薄膜；择优取向
