多功能组合光学镀膜机

西安工业大学将脉冲电弧离子束镀膜技术、非平衡磁控溅射镀膜技术和电子束热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用，研制出了一种多功能组合光学镀膜机，成功实现了各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备。该光学镀膜机具备镀膜时被镀件始终保持在真空状态，蒸发源实时快速转换的优点，可实现所有的功能加工在一台设备内完成，有效地避免了采用不同方法制造薄膜器件时，薄膜界面之间由外界污染造成的影响，克服了以往不同技术沉积光学薄膜时的薄膜界面之间附着力下降乃至脱膜的问题，前后两种材料之间衔接紧密，产品的品质和合格率得到有效提升，在不降低薄膜红外光学特性的基础上，抗恶劣环境能力得以提高。该设备拥有三种蒸发装置，在启动单一设备时，可提供具有单一功能的薄膜；根据不同薄膜特性要求选择不同的沉积方式将三种蒸发装置合理组合使用，就可以满足各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备。该设备造价低，性价比高，一机多用，整个镀膜时间减少了40%左右，在镀制优质光学薄膜的同时，有效降低了企业生产成本，大幅提高了生产效率。