垂直结构Zno薄膜晶体管制备与工作特性

朱敏等

目前，透明氧化物基薄膜晶体管（TFTs），如znO-TFTs和非晶In-Ga-zn-O等，由于它们具有透明、高性能以及可以在低温条件下制作在柔性衬底上等优势正成为下一代薄膜晶体管研究的热点。endprint

目前，透明氧化物基薄膜晶体管（TFTs），如znO-TFTs和非晶In-Ga-zn-O等，由于它们具有透明、高性能以及可以在低温条件下制作在柔性衬底上等优势正成为下一代薄膜晶体管研究的热点。endprint

目前，透明氧化物基薄膜晶体管（TFTs），如znO-TFTs和非晶In-Ga-zn-O等，由于它们具有透明、高性能以及可以在低温条件下制作在柔性衬底上等优势正成为下一代薄膜晶体管研究的热点。endprint