微机电系统让胃镜变胶囊

利用黄光微影、掺杂、薄膜成长、蚀刻等半导体制作技术，制作出微型机械元件、光学元件及电子元件，并将之整合成单一系统做在硅晶片上，这称为“微机电系统”。它最大的优点就是“小”，并且应用广泛。目前世界上已经可以做出小于直径100纳米的微机电元件。

目前已知及开发中的应用有：胶囊式胃镜——患者可吞服然后通过粪便排泄，从而避免痛苦；微型加速度检测器——用于汽车，快速探测出碰撞，使安全气囊更早打开；现在使用最普遍的、应用在智能手机上的微地磁针与微陀螺仪；具有生化分析功能的生物晶片，使人能在短时间检测出SARS、炭疽病毒、沙林毒气等化学物质及微生物个体。