双晶片悬臂梁式压电传感器的有限元仿真研究_参考网

双晶片悬臂梁式压电传感器的有限元仿真研究

2018-11-25崔宜梁,王海峰,李蒙等

测控技术 2018年8期

关键词：晶片压电有限元

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