压电纳米控制器

(2015-19-俄罗斯-4)

1.压电纳米控制器PSF-3

纳米控制器PSF-3是一种3轴控制系统，由操纵杆或计算机控制，集高分辨率（～0.4nm）、持续温度稳定（在20℃情况下，漂移小于2nm/h）和大位移（每轴10mm）于一体。

结构的技术诀窍在于外方开放的压电马达PM-20R及其控制原理。当电机断电时，它可以自动锁定运动，几乎没有死角和漂移。

技术性能指标：

位移范围 10 mm

最小步 0.4 nm

漂移（20°C情况下） <2 nm/h

速度范围(步– 连续) 5 нм/s-500 мкм/s

压电冲击(位移/加速) 1-40мкм/g

最大承载能力 1.5 kG

电压 12 V

标准消耗功率 1瓦

最大消耗功率(1个轴) 5瓦

尺寸(mm) 208(h)×140(w)×110(d)

PSF-3/操纵杆的重量 1.7 kg/0.5 kg

压电电机 PM-20R（旋转型）

2.压电纳米控制器3XL-piezo

纳米控制器3XL-piezo是一种3轴控制系统，由操纵杆或计算机控制，具有高分辨率（～10nm）、持续温度稳定（在20℃情况下，漂移小于5nm/h）和大位移（每轴25mm）等特点。

结构的技术诀窍在于外方企业开发的11*24谐振型压电马达及其控制原理。

技术性能指标：

位移范围 25 mm

最小步 10 nm

漂移（20°C情况下） <5 nm/h

速度范围 20 nm/s-20 mm/s

压电冲击(位移/加速) (1-100微米)/5g

最大承载能力 150 g

电压 12 V

标准消耗功率 1.5瓦

尺寸(mm) 38(w)×73(h)×55(d)

3Xl-piezo/操纵杆的重量 1.5kg/0.5 kg

压电电机 11*24级（线性型）

该技术具有专利，外方期望以多种方式开展合作。