5项电子气体标准通过审查

《纯甲烷和高纯甲烷》等5项国家标准近日通过了全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组和全国气体标准化技术委员会气体分析分会组织的专家审查。

全国气体标准化技术委员会近日在西安召开全国气体标准化联合会议，对《纯甲烷和高纯甲烷》、《电子工业用气体丙烯》、《电子工业用气体硅烷》、《气体中微量氧的测定电化学法》、《电子工业用气体三氟甲烷》5项国家标准进行了审查。专家认为，制修订后各项标准的科学性、合理性、可操作性有较大提高，达到国际先进标准水平。

西南化工研究设计院副院长王晓东指出，气体行业各项标准的制定和完善对营造公平竞争环境、构建统一市场规则具有重要的现实意义。