巨化股份投建高纯电子气体项目

巨化股份近日发布公告:拟设立全资子公司并由其投资1.5亿元实施高纯电子气体项目(一期)，以加快电子化学品业务培育，促进转型升级，优化产业结构。

该项目拟新建1000 t/a医药级氯化氢、1000 t/a高纯氯化氢、500 t/a高纯氯气等系列产品的生产装置及相关配套设施。其中，高纯氯化氢主要用于半导体芯片生产过程中的清洗和外延生长工艺;高纯氯气主要用于液晶平板显示器、光纤和半导体行业，被用作蚀刻气体和脱水剂;医药级氯化氢产品主要用于医药合成原料。

据测算，项目达产后，预计年均利润总额5200万元，所得税前财务内部收益率约为24%，所得税后财务内部收益率约为20%。根据公告，项目生产装置计划2015年4月开工建设，2015年12月具备试车条件。

业内人士介绍，电子气体是特种气体的一个重要分支。随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的电子气体。