光学面形检测仪

该仪器采用相移式横向剪切干涉技术，是一种数字波面测试技术.其原理是将相干两个剪切波面中的一个波面作阶梯式或连续变化，从而使干涉场中的干涉条纹作阶梯式或连续式扫描，用CCD相机获取干涉场中各点的光强，利用图像中各点光强的变化关系，求出被测波面的位相信息或波面面形.由于横向剪切干涉技术是利用被测波面自身实现干涉的，不需要标准的参考面，测试装置简单、测量速度快、测量精度高，且可以实时对剪切干涉图进行采集与处理，得到被测原始波面的信息.

由西安工业大学研制的该测量仪器适合测量非球面度不高的光学非球面面形，如抛物面、椭球面、双曲面等二次曲面或其他高次曲面的非球面镜，克服了过去用刀口阴影检验不能检验高次曲面、只能定性不能定量及被检工件中部有检验盲区的不足，是国内开发的首台非球面面形检测仪器.其主要技术指标：①面形检测精度0.1μm；②测量范围，顶点曲率半径凹面R：0～360mm，凸面R：0～100mm；③工件直径：凹面0～190mm；凸面0～50mm.同时还可应用于光学非球面元件生产线上快速测量非球面模具及非球面透镜面形的重构.

该测量仪器解决了部分光学非球面面形测量问题，填补了国内在非球面测量仪器领域的空白，为促进光学非球面的发展提供了保证，对国内整个光电技术的发展起着积极的推动作用.光学非球面测试仪在兵器工业部205所已成功应用于实际测量，同时还可以应用于光学、光电仪器的设计、加工和研究等领域.