高精度测量机测头结构的设计与分析

盛硕　陈贺　杨桥

引言

随着纳米技术和精密加工技术的发展，对精密测量技术和高精度计量检测设备要求越来越高。各国研究所和各大高校投入大量的人力和物力在高精度的计量测量设备的研发上，高精度的微纳测量平台需要高精度的测头相匹配，高精度的测头的研发成为测量领域的趋势。