红外线吸收式气体分析计

红外线吸收式气体分析计

公开号：CN102401787A 公开日：2012.04.04

申请人：株式会社岛津制作所

将红外线吸收式气体分析计使用于SO2的检测目的时，检测器的室内的SO2和流量传感器的元件的Ni反应，产生流量传感器元件断线的问题。本发明的目的在于提供一种防止流量传感器的Ni元件的腐蚀，延长流量传感器的耐用期间的红外线吸收式气体分析计。推定出在Ni元件的正常部侧面仅表面附着有NiSO4，在腐蚀部NiS2生成到其深部。因此，Ni被SO2硫化而生成NiS2时，Ni被腐蚀到深部而造成断线，但即使Ni与SO2反应，如果作为NiSO4仅停留在表面而不发展到深部的话，就不会产生断线的问题。又，可知Ni在100℃以下作为NiSO4存在，在100℃以上则生成NiS2。因此，通过将流量传感器的电阻金属箔23、24的温度设定在100℃以下，可以防止NiS2的生成。