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上海微高精密机械工程有限公司提供用于高亮度照明LED的步进光刻机

2010-04-04

电子工业专用设备 2010年1期
关键词:高亮度光刻机图形化

“作为新一轮高科技产业发展的焦点,被誉为全世界最有机会、最受追捧的产业。随着LED制造工艺技术的发展,特别是对于高性能LED照明芯片图形化衬底(PSS)而言,传统的接触式曝光模式已不能满足的要求。微高公司根据市场需求,对NIKON公司生产的i7系列机型进行了改造,改造后的设备具备全自动2英寸、3英寸晶片传输、曝光功能,相对传统的接触接近式曝光具备更高的分辨率、生产率和图形一致性,完全满足当前LED生产的最高要求。

同时,该公司已完全掌握了LED照明晶片曝光的工艺技术。

目前国内在高亮度LED照明芯片制造才开始起步,该项技术的突破,为国内有志于高性能LED照明芯片生产厂家提供了更好的选择。

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