国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线

由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际 (北京)集成电路制造有限公司，开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验，为这一国产集成电路制造装备实现重大技术跨越作最后的冲刺。

据了解，这是国产高端离子注入机首次进入300mm主流生产线，表明国内的离子注入机研制已经逐步达到世界主流技术水平。

北京中科信公司研制的65 nm大角度离子注入机以满足大规模生产线65nm制程工艺需求为目标，以提升产品工艺性能、整机可靠性及降低成本消耗为设计理念。在不到两年的时间里，北京中科信电子装备有限公司研发团队成功突破了多项关键工艺，完成多项核心研究，实现了设备的工程化制造、关键零部件国产化，完善了系统设计、系统加工、系统集成流程，保证了设备的高可靠性及工艺水平。

长时间的系统性能测试结果表明，整机生产率、控制精度、软件可靠性、整机自动性能、工艺一致性等指标都有了显著提高，整机性能完全达到甚至部分已经超过了项目合同要求，同时适应国际300mm工艺生产线标准要求。

该设备具备先进工艺控制及故障诊断功能，出厂前已通过用户基本技术指标评估与硬件改进，其主要工艺性能及可靠性、稳定性已取得令人满意的效果。

(来源:中国电子报)