溅射于NiMnCo上的TiO2薄膜的结构与相变

顾广瑞　李哲奎　林景波　李全军　郑伟涛　赵永年　金曾孙

摘要：利用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO₂薄膜。X射线衍射结果表明，在NiMnCo合金基底上成功地沉积了具有金红石、金红石／锐钛矿和锐钛矿结构的TiO₂薄膜，工作气压从0．2Pa变化到2h，TiO₂薄膜的结构由金红石相变到锐钛矿相。低于600nm时，厚度对TiO₂薄膜结构没有明早影响。

关键词：TiO₂薄膜；XRD光谱；金红石；锐钛矿

中图分类号：O647．2

文献标识码：A

文章编号：1671-5489(2005)04—0517—04