高科技的摇篮

半导体光电子技术与系统研究所创建于80年代初，1993年获得“微电子学与固体电子 学 ”博士学位授予权。现有教职员工16人，其中教授、博士生导师5名，副教授5名，具有博士 学位教师6人，至今已培养了博士生20余人，硕士生60余人，2000年以来，共被学校推荐参 评全国优秀博士学位论文3人，并已有1人获得该奖。

研究所先后承担国家重点基础研究发展规划(973)项目课题3项，“863”高科技项目5项 ，国家自然科学基金项目15项(其中重点项目一项)等。在高速光调制器、光功分器、光开关 等研究方面处于国内先进水平，特别在砷化镓集成光学方面；获发明专利6项，拥有完整的 光波导器件设计软件和工艺实验平台。在MEMS研究方面，先后研制成60Mpa大量程压力传感 器、微压传感器、谐振器等微机械器件，在微陀螺和微加速度传感器研究方面形成了特色。 在国内较早开展公斤量级微小卫星及其通信系统的研究工作，建立了完整的射频通信设计、 测试平台。

该研究所主要对以下领域进行研究：

1.集成光学：基于GaAs等多种材料的光波导器件——光开关、调制器、功分器、密集 波分复用器等集成光学理论与器件；2.光电子技术与系统应用：光电检测、传感技术和光 电子技术应用，以及光通信系统应用和开发；3.微/纳电子机械技术(MEMS/NEMS)与传感器 电子学：微机械工艺、微机械传感器、新型半导体器件，以及传感器处理电路的集成化、模 块化技术；4.射频集成通信系统：卫星通信、无线局域网等射频通信系统，射频系统的微 型化、模块化及单片微波集成电路(MMIC)。