高精度压印机压印轴的热误差分析

严　乐　卢秉恒　丁玉成　刘红忠

摘要：在压印光刻工艺中，针对压印机由于温度变化而引起的热误差，通过建立压印机压印轴有限元分析模型，对其温度分布进行了仿真计算．采用高斯求积法优化了温度传感器的位置和数量，选取了1个热源点和2个高斯点作为测温关键点，建立了压印轴测温点的温度变化与压印轴轴向热误差之间的线性计算模型，该方法可以预先确定测温点的数量和位置，避免了传统的从多个测温点中通过实验选择最优传感器数量和位置的方法．研究结果表明，有限元计算结果与实验中温度测量值之间的误差小于7．7％，仿真结果能准确反映压印轴温度场的分布情况，所建立的压印轴热误差模型的计算精度可以达到93％，因此获得了较高的计算精度．

关键词：压印光刻；热误差；温度场；有限元

中图分类号：THl61．4文献标识码：A文章编号：0253—987X(2004)09—0909—04