趋势与展望

1. 时尚预测对产业装备设计的辅助作用研究

先进封装技术与设备

1. 引线键合设备压力控制机构的研究

半导体制造工艺与设备

1. 气态氟化氢释放系统
2. 自动化离子注入设备控制系统的研究与设计
3. MOCVD设备射频感应加热原理与故障分析
4. 碳化硅用多线切割机张力控制系统技术研究
5. 照明光瞳调制技术研究
6. 离子束刻蚀技术与设备常见故障分析
7. 基于面阵相机识别生成晶圆图谱的算法研究

电子专用设备研究

1. 基于ND K的DSP网络通信技术研究
2. 基于Modbus RTU协议的数据采集平台设计与实现
3. 氢气退火炉关键部件研究与开发
4. 链式退火炉电气系统的研制
5. 湿法工艺设备高温化学液的直排技术研究
6. 探针测试台X-Y工作台电机控制
7. 加速特征相关（FD）干法刻蚀的工艺发展

1. 中国已成为全球外延设备的主要驱动力量
2. 美光发布第六次年度可持续发展报告