研究人员突破单层二硫化钼8英寸晶圆外延技术

朱汉斌

近日，由松山湖材料实验室、中国科学院物理研究所、北京大学、华南师范大学组成的联合研究团队在松山湖材料实验室研究员张广宇的指导下，创新性搭建了一台8英寸垂直化学气相沉积系统，并在单晶蓝寶石衬底上外延生长了8英寸高定向单层二硫化钼晶圆。相关成果发表于《先进材料》。