盛美上海王晖“ 阴差阳错”的大国工匠

张贺

截至5月5日收盘，科创板公司盛美上海总市值达到466亿元，超过了4，900多家A股公司。但谁能想到，这家打破海外垄断的半导体设备公司，却是一个“意外”。创始人王晖经历了一次又一次“阴差阳错”的选择，最终成就了如今的盛美上海。而跨越中、日、美三国的求学经历，也让王晖与其他半导体大佬有所不同。

新老朋友聚首，难免提到上学时分科或分专业的往事，再顺带畅想一下没有经历的另一种人生。如果王晖遇到这个话题，或许会畅想两次。

高考恢复第二年，王晖以贵阳四中第一的成绩进入清华大学精密仪器系。但其实王晖并没有报考清华，他第一志愿是北大物理系，第二志愿是浙大。不过因为有轻微色弱，王晖被认为不适合学习物理。北大招生老师就把王晖推荐到清华，恰好当年清华精密仪器系对色弱没有限制。

就这样，王晖从心心念念的物理专业转到了精密仪器专业。在清华除了理论层面的学习，王晖还亲自操作了车、洗、磨床等实操工序。这些都为后来的深造打下基础。

1984年，王晖获得清华大学代招的教育部公派留学日本的指标赴日留学。不过王晖却不得不再次换方向。原本要跟随的东京大学精密工学科工业机器人专业教授即将退休，这名教授就将王晖推荐到大阪大学。在大阪大学安排的面试交流中，王晖放弃了工业机器人方向，改为森勇藏教授研究的半导体精密加工和半导体设备。

原本要学习物理的贵州娃，因为两次不得已的选择，最终在大阪大学研究起了半导体设备，并取得了工学硕士和博士学位，赶上了日本的半导体浪潮。

博士毕业后，王晖又赴美留学。1993年，王晖加入QuesterTechnology公司，从工艺工程师到研发部经理，期间获得6项美国专利，方向是大气压CVD设备及工艺。

常言道：机遇偏爱有准备的人。1998年半导体行业的一件大事就把王晖推到了创业的路上。这年，IBM宣布推出世界上第一个采用铜金属材料的微处理器，半导体制程工艺也由此进入铜互连时代。恰好王晖在大阪大学曾系统学习过精密镀铜、电抛光等内容，他提出可用于超薄仔晶层的多阳极局部电镀铜（MultiAnodePartialPlating）技术，成立了ACMResearch（盛美半导体）。

但是任何产业的发展都不可能仅由某一个环节带动。因为技术太过前沿，此时ACMResearch的无应力铜抛光（SFP）技术还很难找到市场。王晖也一度想过卖掉ACMResearch。

不得不说，王晖总能遇到贵人相助。和中微公司的尹志尧类似，上海半导体的传奇人物江上舟也找上了王晖。最终上海发展半导体产业的决心打动了后者，2005年盛美上海应运而生。有了之前的挫折，这次王晖的思路十分清晰，把市场规模更大、国产尚属空白的单片清洗设备作为突破口。

2008年，盛美上海的SAPS技术研发成功，克服了传统兆声波工艺中兆声波能量在晶圆表面分布不均匀的问题，同时还能更好地消除芯片创造期间互联结构中的残留物和其他随机缺陷。2015年，TEBO技术研发成功，进一步解决了传统兆声波清洗难以控制气泡进而对晶圆表面图形结构造成损伤的问题。2018年研发成功的Tahoe清洗设备则在保证清洗效果的同时，可以大幅减少硫酸使用量，帮助客户降低成本和节能减排。

无论是SAPS、TEBO还是Tahoe，均为盛美上海全球首创，而且市场开拓也较为顺利。2009年SAPS清洗设备进入全球存储器龙头企业韩国海力士开展产品验证，2011年公司用于12英寸45nm工艺的SAPS清洗设备首次取得海力士的正式订单，并于2013年获得了海力士的多台重复订单。

随着产品获得了国际先进客户的认可，盛美上海在业界打出名堂，又于2015年后顺利取得了长江存储、中芯国际及华虹集团等客户的订单。

有了订单，业绩自然手到擒来。2018年，盛美上海营业总收入和归属母公司股东净利润分别同比增长116.99%和751.98%。2019-2020年，虽然归母净利润同比增速远不如2018年，但也都在45%以上。

除了业绩水涨船高，王晖在资本市场也连连收获。2017年ACMResearch登陆纳斯达克，2021年盛美上海也在科创板上市。

虽然盛美上海清洗设备的国内市占率已达到23%，全球份额也跻身前五，但清洗设备市场空间毕竟有限，只占整个半导体设备市场规模的6%左右。因此，对盛美上海和王晖来说，向其他设备拓展不可避免。

除了在半导体清洗设备继续深耕，盛美上海的武器库还增加了半导体电镀设备、半导体抛铜设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备等，是全球少数几家掌握芯片铜互连电镀铜技术核心专利并实现产业化的公司之一。曾经因为太过前沿而难有用武之地的无应力铜抛光（SFP）技术也随着半导体工艺的进步而找到市场。

在盛美上海的营收构成中，半导体清洗设备的占比从2018年的91.11%降至2022年72.34%，毛利占比也从91.76%降至71.43%。

而且这种情况还没有停止。

2022年年报显示，去年盛美上海在立式炉管设备、涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD设备、先进封装用金属剥离湿法设备、新型化合物半导体系列湿法设备、化学机械研磨后（Post-CMP）清洗设备等取得新的突破。尤其是气相沉积设备是半导体制造的三大核心设备之一，该设备的拓展为盛美上海进一步打开成长空间。

这背后自然离不开对研发的持续投入。数据显示，2018-2022年盛美上海研发投入占营业收入的比例从未低于13%，2021年甚至达到17.18%。近两年研发人员数量占比也在44%左右。2019-2022年，盛美上海的技术人员占比也从未低于40%，本科及以上学历人员占比也基本维持在6成左右，2022年则提高到67.31%。

需要注意的是，在此前几年没有将研发投入资本化的盛美上海，2022年资本化研发投入占研发投入的比例达到11.2%，对其业绩产生积极影响。当然，相比去年同比增长151.08%、6.68亿元的归母净利润，不足5，000万元的资本化研发投入似乎影响不大。而且同类公司中，北方华创和中微公司也早已将研发投入资本化。但这种突然的变化却不能忽视。

不过，相比中微公司、兆易创新、芯源微、拓荆科技等半导体企业要么控股权捉襟见肘，要么没有实控人，王晖的牌要好打得多。2023年一季报显示，王晖控股的ACMResearch持有盛美上海82.5%的股权，这在整个A股都极为罕见。

翻看ACMResearch和盛美上海的发展历史，关于融资的内容和金额确实较少。究其原因，半导体设备的科班出身帮助王晖在产品研发上更游刃有余。而从单片清洗设备入局的单点突破和差异化竞争策略，则帮助盛美上海更快地实现产品突破和订单积累。1998年成立的母公司ACMResearch，在21世纪初通过销售基于无应力铜抛光技术的工具，也使得盛美上海不至于從零开始。

而更深层的原因，则是王晖求学时两次“阴差阳错”的抉择，让他最终成了半导体设备的大国工匠。