电子特种气体何时才能不被卡脖子？

颜媛媛

中国工业气体市场巨无霸诞生

中国工业气体市场两大巨头携手

位居中国工业气体市场第一和第五的两大公司，将强强联合，进而开启中国工业气体市场新的竞争格局。

前不久，位居国内第五的工业气体公司杭氧股份公告，其间接控股股东杭州资本近日和其他投资人及盈德香港、气体动力，签署《股权出售与购买（主）协议》，约定杭州资本拟与其他投资人共同投资设立买方SPV，收购盈德香港持有的目标公司100% 股权。交易完成后，杭州资本持有买方SPV30% 股权，是买方SPV 第一大股东（非控股股东），将在3 年内推动杭氧股份与买方SPV签署资产重组协議。

公开资料显示，气体动力是中国最大的工业气体公司，于2017 年被太盟投资集团（PAG）收购，并私有化退市。而杭氧股份的主营业务为工业气体和空分设备制造，是国内工业气体业务方面仅次于气体动力的工业气体公司。

对于这次合并，外界认为会是一次里程碑事件。从全球工业气体行业发展历史来看，20 世纪90 年代，全球市场呈现八大跨国气体公司以及多个区域性气体公司并存的格局，市场集中度较低，之后林德气体开展了对瑞典AGA、英国BOC 的收购，并与美国普莱克斯合并，成为全球最大的工业气体公司；法国液化空气也进行了对美国Airgas 的收购。由此，全球工业气体市场集中度明显提升，2021 年CR2达到41%，由无序竞争逐渐向寡头垄断发展。

而参考海外经验，国内工业气体市场也有望在并购整合中迎来市场集中度的提升，竞争格局将得到改善。

争夺工业气体市场话语权

两家企业牵手后，我国工业气体“巨无霸”也渐渐浮出水面，进而有了与国际巨头一较高低的基础。

工业气体是现代工业重要的基础原料，被广泛应用于钢铁、冶金、石油、化工、电子、医疗等国民经济的重要行业，但我国工业气体起步晚，市场主要被外资企业占据，根据亿渡数据显示，林德、液化空气两家国外头部企业合起来拿走了我国近五成的工业气体市场份额，而空气化工、气体动力、杭氧股份三大企业经过多年发展，也努力拿下了近三成的市场份额。

工业气体按制备方式可以进一步划分为大宗气体、特种气体。大宗气体方面，一般采用管道运输，对资金、设备需求较高。国内企业气体动力、杭氧股份具有一定的规模性，但大部分市场仍被国外企业占据。特种气体方面，根据亿渡数据显示，美国空气化工、普莱克斯、法液空、太阳日酸、林德共占据国内特气 85% 市场份额，而我国国内企业实力逐渐增强，但产品品种相对单一，气体纯度相较于国外企业仍有一定差距，尤其是在电子特气领域。

电子制造的“血液”

现代工业之基石，晶圆制造之“血液”——从电子特气的别称可以看出其在现代半导体制造中的地位。

具体到集成电路领域，电子特气应用的种类超过110 种，用于光刻、刻蚀、清洗等工艺环节，本身是半导体行业必需的支撑性材料。半导体行业对于气源及其供应系统有着严苛的要求，电子气体的深度提纯难度大，而纯度是气体质量最重要的指标。在芯片加工过程中，微小的气体纯净度差异将导致整个产品性能的降低甚至报废。电子气体纯度往往要求5N 以上级别，还要将金属元素净化到9-10 级至10-12 级。而气体纯度每提高一个层次对纯化技术就提出了更高的要求，技术难度也将显著上升。高纯、超纯气体的生产制备首先要对上游原料工业气进行成分分析，其次根据杂质成分的复杂程度来设计生产工艺和设备，最后分析设备需采用在线自动监控，分析精度要求很高。

此外，气体行业的下游绝大部分客户是专业生产厂家，并非终端消费产品，因此难以通过广告等常规营销手段在短期内建立市场品牌，供应商的服务一旦得到认可，客户考虑质量、服务等因素通常不会变更供应商，客户黏性较强。

这样的大背景让整个全球电子气体行业呈寡头垄断格局，电子气体前十大企业共占据全球电子气体 90% 以上市场份额。而国内半导体用电子特气市场超过八成的市场份额被外资企业垄断，特别是高端电子特气国内自给率非常低，严重制约了我国半导体产业的健康稳定发展。国际贸易摩擦、地缘政治冲突以及全球性疫情等因素更是加剧了我国半导体供应链的不稳定性，实现半导体领域的电子特气自给自足的重要性愈发凸显。

国内特种气体发展的初期由于技术、工艺、设备等多方面差距明显，产品大多依赖进口。但我国特种气体行业经过多年的发展和沉淀，目前集成电路生产用的特种气体，我国能生产约 20%的品种，而品类齐全是海外寡头的竞争优势，也是国内电子特气企业未来发展路径。随着国产气体企业品类扩充加速，未来三年，集成电路国产化的常用气体，有望进一步实现多元产品覆盖。

电子特气在半导体行业应用极广