基于红外激光干涉仪的非球面面形测试技术研究_参考网

基于红外激光干涉仪的非球面面形测试技术研究

2022-11-25李彦生唐莹娟李汝劼何雨纯程敬辉陈奕君王乔方

红外技术 2022年11期

关键词：面形非球面干涉仪

李彦生，唐莹娟，李汝劼，许红，苏斌，何雨纯，程敬辉，陈奕君，王乔方

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