中北大学参与共建国家第三代半导体技术创新分中心山西分中心

尹哲

科学导报讯 国家第三代半导体技术创新中心山西分中心建設正在有序推进。笔者5月24日从中北大学获悉，该校依靠专业优势，将积极参与山西分中心建设工作。

中北大学在第三代半导体技术研究方面有长期积累，在器件设计、高深宽比刻蚀、高可靠欧姆接触、高温键合封装等方面有充足研究经验和技术积累，形成了有特色的工艺能力，所依托的中北大学微纳加工中心是国内高校范围内技术先进的半导体工艺研发平台。

此外，中北大学在半导体人才培养方面，具有深厚的团队基础、充足的研发经费、先进的平台条件和有效的培养模式。该校微电子科学与工程专业于2019年通过国家工程教育专业认证，2020年成为国家一流专业建设点。