大尺寸氧化锆防静电陶瓷及其制备方法和应用

本发明公开了一种大尺寸氧化锆防静电陶瓷及其制备方法和应用，该制备方法包括以下步骤：将八水氧氯化锆、钇盐、铈盐、乙醇、双氧水和分散剂混合，经喷雾造粒，煅烧，得到铈钇稳定氧化锆；将铈钇稳定氧化锆、氧化锌、铝溶胶、硅溶胶和分散剂混合，经喷雾造粒，煅烧，得到防静电陶瓷粉末；将防静电陶瓷粉末成型后进行埋粉烧结，得到大尺寸氧化锆防静电陶瓷。本发明的制备方法可以有效防止烧结缺陷的产生，同时有利于制备大尺寸氧化锆防静电陶瓷，其制得的大尺寸氧化锆防静电陶瓷，具有更高的致密度、更好的力学性能以及更低的表面电阻率，适用于制备性能优异的芯片陶瓷吸盘以及陶瓷手臂。

申请号：202211043267X