以MVC 为基础的CMP 软件模块开发分析

邱海斌

（沈阳广播电视大学，辽宁 沈阳 110003）

0 引言

目前，我国科学技术得到较好发展，晶圆表面平整度已达到纳米级加工精度，但是传统平坦化技术属于局部平坦化工艺，很难实现全局平坦化。其中CMP能够有效实现全局平坦化的一种技术，并且工艺控制可有效满足加工要求。但是，随着CMP 硬件与软件系统相对较为复杂，在半导体产业中的应用过程中，用户对CMP 系统提出了个性化要求，这就需要提升系统软件控制程序的灵活性与复用性，所以需要将MVC 应用在CMP 软件系统中，能够提高系统维护性与复用性，为CMP 软件模块开发质量的提升奠定良好的基础。

1 MVC 架构原理

1.1 MVC 架构

MVC 构架在进行代码组织的过程中，需要通过截面显示、数据以及业务逻辑分离方法来完成。MVC 架构会使程序输入、输出以及处理分开，以此使应用程序分为不同核心部件，也就是视图、模型以及控制器，其中M 主要是业务数据，V 主要是视图，C 是控制器，不同核心部件在运行期间会对各自业务进行处理，彼此相互独立，以此为软件工程管理与维护奠定良好的基础。

MVC 具体功能主要表现在以下几个方面：（1）视图层。方便用户进行可视化操作的程序截面，并在此基础上把数据与控制信号结果通过文字、图像的方法呈现，开发者能够对不同视图进行定义，主要是对信息与数据实施有效呈现；（2）控制层。控制层在控制系统中是核心内容，主要完成计算机与用户之间的交互，并对用户输入信息进行处理，从模型层与视图层对数据有效读取，同时将数据发送至模型，是对用户交互进行处理的部分；（3）模型层。对逻辑有关的代码进行全面负责，并且对数据进行存储与封装。在模型层中实现用户请求逻辑，同时将处理结果显示在视图层。控制器主要负责控制功能，通过用户请求调用模型，再将处理结果传递到视图层，以此完成具体功能[1-2]。

1.2 MVC 特点

MVC 特点主要表现在以下几个方面：（1）能够采用不同视图对同一数据进行有效的展开；（2）对不可视或者可视组件分离，可对模型实施独立测试。可视组件在分离的过程中，降低了对外部的依赖程度，这在较大程度上能够完成测试。除此之外，控制器与视图在分离的过程中，控制器是逻辑组件，具体展开与分离逻辑均会对逻辑实施有效的独立测试。

由此可以看出，MVC 能够把对象与控制进行分离，这对提升软件自身的灵活性具有较大促进作用，为软件运行效率的提升奠定良好的基础。此外，MVC 可将不同业务逻辑聚集，在用户交互与改进界面中，不用对业务逻辑进行编写，能够有效使代码复用性得到有效提升，以此使开发周期时间缩短，这为软件开发效率的提高奠定良好的基础。除此之外，MVC 可使程序具备对象化特点，在此过程中大大降低了维护难度，以此能够提升软件工程化管理质量。

2 MVC 在CMP 软件中的应用

CMP设备是集成电路制造领域中较为重要的设备，其中控制逻辑在其中扮演着较为重要的作用，主要是由不同模块构成，不同模块在运行的过程中，不但会独自运行，而且模块之间哈存在相应的联系，也就是模块之间在消息机制的基础上进行数据的有效传输。在CMP 软件控制程序的过程中，不同模块之间进行配合，以此为CMP 设备正常运行奠定良好的基础。

因CMP 控制模块相对较多，并且在此基础上模块之间数据交互复杂，同时还需要满足用户自身的个性化需求。将CMP 软件控制系统应用MVC 对程序实施设计，能够使模块之间的耦合性有效降低，同时可大大提升代码的复用性与灵活性[3-5]。

在CMP 设备软件控制模块中，采用MVC 能够使工艺参数、程序视图以及运行状态等数据的有效分离，用户再根据工艺需求对软件中的GUI 界面与不同模块界面组件进行全面操作，其中控制器会接收相应的动作，控制再通过业务逻辑对数据层实施操作，以此使数据层的改变与视图层进行同步更新。

3 基于MVC 架构的子模块设计

在CMP 软件中，模块3 是一种报警收集管理程序，主要是把CMP 运行过程中不同工作模块报警信息以及工艺参数等数据实施有效汇总，并在此基础上将其分成不同类别进行存储。若CMP 在运行的过程中，产生故障的情况下，模块3 会对设备实施控制，并在此基础上发出报警，这就需要对CMP 软件系统模块3 在MVC 的基础上进行有效设计，模块3 会接收模块1 与模块2 的报警信息以及工艺参数数据，此外还会对运行状态数据进行有效的接收，同时把数据实施有效的分类，一般情况下将其分为Alarmdegree 1 以及Alarmdegree 2 等类型，其中前3 种类型属于报警信息，当CMP 在运行的过程中，将其显示在Active Alarms 视图中，Alarmdegree 4 与Alarmdegree 5 是相关操作数据，将其显示在Event 视图中，Default是功能扩展模块[6-7]。

用户需要根据自己需求对模块视图层实施有效的操作，之后控制层通过操作类型实施信息筛选，并在此基础上通过信息类型对报警器进行有效的控制。信息筛选后将其显示在视图层中，工作人员在此过程中对信息与报警类型进行查阅，再进行故障排除以及CMP 设备检查。用户对CMP 维修后，需要对截面报警信息实施清除，其中控制层会通过用户需求会停止报警。

此外，工艺参数、报警信息以及运行状态均会通过文件形式进行有效的储存，用户在对历史信息进行查阅的过程中，需要调用信息筛选界面。用户会根据自身需求对信息时间以及类型等进行有效的勾选，控制层在对信息勾选后实施数据筛选，再将其在视图层中显示，能够对CMP 储存信息类型多样，并且信息筛选难度高的问题[8-10]。

随着CMP 设备在应用的过程中，逐渐商业化，这就需要根据用户自身需求对CMP 软件进行针对性设计，以此最大程度上满足用户个性化需求，这在一定程度上会使工作人员工作难度有不同程度的增加。通过MVC 设计出的CMP 软件系统的视图层、模型层以及控制层等的运行相互独立，具有较高的可维护性，并且在此基础上能够使软件工程化管理。比如，用户在对视图层进行设计的过程中，主要是对视图层中的布局、信息显示方式等进行个性化设计，开发者需要对视图层进行更改，在此过程中不需要对模型层与控制层进行更改。

4 结论

综上所述，CMP 设备在使用的过程中，存在系统相对复杂、工艺控制与运行状态参数比较多等问题，这就需要在MVC 基础上对CMP 软件模块进行有效的设计，把模型层、视图层以及控制层之间彼此分离，进行单独设计，能够有效提高系统的复用性，同时能够使耦合性有不同程度的降低。在对模块进行设计的过程中，主要根据用户自身需求对相应模块实施有效完善，能够使开发周期不断缩短，这在较大程度上可使生产效率得到有效提升。随着集成电路的快速发展，对CMP 设备运行期间的稳定性有较高要求，因此将MVC 应用在CMP 软件系统意义重大。