半导体集成电路可靠性测试及数据处理方法的研究

韩亚杰

摘要：在我国现阶段的发展过程中，各种不同集成电路产品开始普遍存在于人们的生活之中，而产品的可靠性对相关研究人员分析产品性能、质量以及服务时间等有着重要的作用。也可以说产品的可靠性在极大程度上能够检验到产品的质量，并判断产品是否符合相关的规定以及国家要求。在现阶段科学技术不断的发展，在使用了新技术以及新材料的情况下，以往普通的半导体集成电路的线宽不断的减少，所以这也就在极大程度上要求相关的研究人员集中自身大量的精力，以此来实现提升半导体的集成度。与此同时，这一方面的发展也对半导体集成电路的可靠性提出了更高的要求。本文在此基础上主要探讨了现阶段半导体集成电路可靠性的测试，并提出了相关数据的处理方式。

关键词 ：半导体集成电路 ;可靠性 ;数据处理

伴随着我国经济的不断发展以及科学技术的不断进步，对于半导体集成电路的性能质量，不同行业提出了不同的要求，但是这些要求都十分的高。这也在一定程度上促进了半导体集成化的发展以及壮大，就我国现阶段的发展状况来看，半导体集成电路的发展正在向着高精准度的目标前进，但是伴随着不同行业的快速发展，生产的要求越来越高，现阶段的制造技术以及过程都比以往的生产流程负载许多。所以，为了能够有效的对半导体集成电路的可靠性、合格性等进行检测，不断的降低相应的成本以及流程，一定要采取有效的措施对半导体集成电路的可靠性进行检测以及分析。

一、现阶段对半导体集成电路可靠性进行测试的方式

（一）测试半导体可靠性的相关措施

就我国目前的发展状况来看，我国对于半导体可靠性的检测大都是采用被动式的筛选，但是这种被动筛选的方式需要大量的资金以及工作人员的支持才能够正常的运行，而且这种筛选的方式也比较的基础，并不能够将那些符合要求、可靠性高的半导体筛选出来，所以这种被动的检测方式整体的检测效率并不是很高。与此同时，这种筛选方式需要工作人员具备充分的时间，而且最重要的就是通过被动筛选进行半导体可靠性的测试，其实对于提升半导体的可靠性并没有什么实质性帮助，这也就在一定程度上要求相关工作人员在是工作过程中，一定要非常的了解半导体可靠性的生产环境以及条件，从而保障半导体在实际的使用过程中能够进行安全可靠的运行。这就要求相关工作人员在检测的时候，应该通过科学的数据分析，从而对半导体的制造技术、工艺、条件、使用环境以及制造周期进行全面的研究以及考虑，了解这些因素对于半导体可靠性的影响，然后在此基础上使用现先进的技术，从而不断地改善、调整半导体的设计工作。

（二）对半导体元件可靠性保持时间的检测方式

在我们日常的发展过程中，半导体发挥着重要的作用。半导体可靠性的高低在极大程度上决定着半导体质量的好坏，所以一个质量上乘、可靠性高的半导体对于整个机械设备的使用发挥着重要的作用，同样的使用的方式也更加的方便以及快捷。半导体生产的可靠性越高，最终生产出来的电子元件的质量以及可靠性就越高，能够为人们提供更好的服务。这也就要求相关的工作人员一定要加强对半导体可靠性的研究。在评估导体可靠性的过程中，相关工作人员经常会使用可靠性评估的方式进行研究，这种方式的主要流程就是，相关工作人员通过使用专业的机械设备以及工具，对半导体进行模拟化的使用以及研究，从而推断出半导体可能出现的故障次数、使用的寿命以及质量等级等，从而有效的评估出半导体的可靠性，而对于现阶段的半导体来说，最为重要的就是半导体的使用寿命，现阶段相关工作人员主要是通过对半导体的成品进行相应的分析，从而得到其相应的使用寿命，但是在实际发展过程中，半导体的使用寿命受到外界多种因素的影响，所以相关工作人员在实际的检测过程中还需要参考产品可靠性的成长速度，从而对半导体进行综合性的评估。

二、半导体中处理数据的方法

对于半导体中的数据进行处理，我国常用的方式有斜坡电压测试的方式，这种方式得主要是在电网的线性方向加入较强的斜坡电压，以此来不断地促进电压强度的增加，相关工作人员在这个过程中应该积极的观察可能会导致击穿的电压。在原理上斜坡电流测试与斜坡电压测试有着一定的不同，相关工作人员在进行斜坡电流测试的过程中，在电网的线性度方向增加的就是斜坡电流，并在不段的发展中增加电流的强度，这会在极大程度上分解固化。斜坡电流测试实验以及斜坡电压测试实验都是斜率实验的一种类型，而且都能够在极大程度上对存在缺陷进行弥补。在实际的发展过程中，相关的工作人员应该将电压加在规定范围内的栅氧化层中，如果这些电压导致栅氧化层达到了击穿的程度，就可以在一定程度上确定氧化层的耐受电压程度，这也在较大程度上说明在这种情况下，栅极氧化层是具有一定缺陷的，并不能够进行正常的工作以及运行。所以实验的工作人员应该将积极的使用泊松分布，对其存在的缺陷进行计算以及评估，从斜坡电压以及斜坡电流中取得的相关数据进行研究，将相关数据代入一定的公式中进行计算以及分析。除此以外，相关工作人员还可以对面积进行密度估算，如果从中得到的数据已经远远地超过了正常的范围，就能够判断缺陷的密度设计与相关标准不相符合。

三、结束语

通过上述内容我们能够知道：在现階段的发展中半导体的集成电路的可靠性对于我国经济的发展有着重要的作用，在极大程度上影响着我国经济地发展以及生产的安全性，所以在实际的发展过程中，相关工作人员应该积极的创新半导体可靠性测量技术，并对相关数据进行处理，从而判断半导体集成电路的可靠程度。

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