Picarro推出用于半导体晶圆厂份气体分子污染监测系统

王恒宇

近日，Picarro宣布推出经我们完全优化的AMC监控系统———Picarro SAM（取样Sample、分析Analyze以及监测Monitor）。该系统由Picarro在基于CRDS的传感器组成，该传感器已集成到最新的采样系统中。SAM单元可提供高通量采样，而不会影响传感器的性能。

新发明的、正在申请专利的气体输送歧管促成了SAM的显著性能优势，使其在很短的时间内达到万亿分之几（ppt）的检测灵敏度，并能快速将SAM系统恢复到基线灵敏度水平。这使得SAM成为在线实时AMC监视系统的理想选择。该系统带有易于使用的图形用户界面，可进行各种图表和趋势分析。

SAM可以配置为从8个或16个端口采样，并且目前可用于检测氨、氟化氢和盐酸，这3个关键AMC会影响半导体晶圆的产量。展望未来，我们将根据Picarro的半导体产品路线图为其他气体提供SAM系统。

SAM系统路线图还将支持复杂的AMC分析，以幫助客户更准确地快速识别AMC事件的位置，从而允许采取更快的纠正措施，以提高与AMC相关的晶圆产量。