新型飞秒激光等离子激元光刻技术可加工石墨烯

石墨烯具有優异的光学、力学、电学等性能，被认为是一种未来革命性的材料，成为材料领域研究的热门材料，但在石墨烯的制备微纳结构中，现有的自组装、电子束刻蚀和极紫外光刻等技术，存在着耗时较长，成本较高，缺乏通用性等问题。因此，急需一种石墨烯微纳制备技术，如何利用灵活简便的加工手段解决加工精度和加工效率问题是拓展飞秒激光实用化的关键所在。

2020年5月10日，中科院长春光学精密仪器与物理研究所开发了一种飞秒激光等离子激元光刻技术（FPL），相关成果发表在《光：科学与应用》上。利用该技术，能够实现高质量纳米结构周期制备，根据飞秒激光的非线性光学特点，FPL技术加工过程不易受材料表面缺陷、杂质等因素的影响，加工基底也不易受到材料种类的限制。通过这项技术，可以进行周期性微纳结构的灵活制备。这项研究对推动石墨烯材料的应用与普及有着非常重要的意义。

来源：新华网

http：//www.xinhuanet.com/science/2020-05/11/c_139046351.htm

下载日期：2020-05-12