应力隔离法在蓝宝石压力传感器结构设计中的应用_参考网

应力隔离法在蓝宝石压力传感器结构设计中的应用

2018-08-29王凡,刘宝伟,陈宝成等

传感器与微系统 2018年7期

关键词：隔离法蓝宝石结构设计

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