天津大学突破性开创柔性射频滤波技术

2018-07-16

军民两用技术与产品 2018年11期

天津大学科研团队开创了柔性射频滤波技术，并且利用一项名为柔性微机电系统（FlexMEMS）的创新工艺成功开发出柔性射频滤波器，未来可直接应用于柔性电子的无线射频通信。团队首创的FlexMEMS工艺技术能够在超薄的塑料基底上制造具有高精密可动微结构的微机电器件，解决了表面粗糙且不耐高温的高分子材料基底与高质量薄膜、高精密可动微结构在器件设计、制造及封装中的不兼容问题。此外，该技术还可以应用于制造多种柔性微机电器件，如压力计、加速度计、陀螺仪、超声识别和成像单元、投影成像单元等，使柔性电子设备具备更强的感知外部世界（如虚拟现实）甚至影响外部世界（如现实增强）的能力。