芯片设备 星火燎原

樊畅

技术门槛高，占据上游，半导体生产设备和材料在整个产业链中的地位不容小觑。

根据国际半导体产业协会SEMI的统计，2016年全球半导体设备出货额412亿美元，全球半导体材料出货额443亿美元，共计800多亿美元。

受益于中国市场需求增加猛增，2017年半导体设备热度不减，全年出货金额达560亿美元，同比大幅增长40%，目前该领域中国仍然主要依靠进口。

差距悬殊

从下表可以看出，全球半导体设备企业前十名的营收门槛为8.9亿美元。前十名企业均来自美国、荷兰以及日本。

回到国内，中国2016年营收最高的半导体设备公司收入9.08亿元（1.37亿美元），尽管2017年的具体数字尚未公布，但可以看出，中国企业离世界十强的门槛相去甚远。

不过中国半导体制造设备增速很快。前十强的增速快于整体水平，市场集中度在不断提高。

2017年半导体设备板块实现营收52.47亿元，同比增长56.05%，2018年一季度实现营收13.60亿元，同比增长46.08%，继续保持高速增长趋势。

从总体规模来看，全球市场约为412亿美元，中国设备厂家全部加起来才8.63亿美元，占比仅为2%左右，可见进口替代空间巨大。

哪些企业最受益？

中国半导体设备企业中最值得关注的有以下几家企业。

北方华创（002371.SZ）

北方华创是我国最大规模的专业半导体设备企业，2017全年实现营业总收入22.23亿，同比增37.01%，净利润1.26亿元，同比增长35.21%。

其中，半导体设备收入占总体营收的51.59%，增长速度超过40%。北方华创产品涉及氧化炉、刻蚀机和薄膜沉积三类。

长江存储3D NAND FLASH产线的氧化炉设备就采用北方华创的产品，该款氧化炉在进入长江存储产线之前，已经批量应用于中芯国际、上海华力芯片生产线。长江存储还购买了北方华创的刻蚀机和PVD机台。

北方华创在硅刻蚀机领域实现突破，2016年研发出了14nm工艺的硅刻蚀机。目前中芯国际在研发的14nm工艺，就在验证使用北方华创的硅刻蚀机。

北方华创在PVD设备和单片退火设备领域也实现了批量出货，目前主要在28nm级别。在薄膜沉积设备领域，北方华创进展较快，多种14nm的生产设备也在产线验证中。

北方华创还有第四种关键设备——清洗机。2017年8月7日，北方华创花费1500万美元收购了美国Akrion公司。后者是一家专注于硅片清洗设备业务的公司。

中电科电子装备公司

中电科电子装备公司，2016年销售收入9.08亿元，中电科装备隶属于中国电子科技集团。

电科装备目前是国内唯一集研发、制造、服务于一体的离子注入机供应商，已经为中芯国际完成了将近200万片的生产量。

2017年11月21日，电科装备自主研发的200mmCMP商用机完成内部测试，发往中芯国际天津公司进行上线验证。实现了我国在此领域零的突破。

除了集成电路晶圆制造两大关键设备以外，电科装备还是国内主力的集成电路封装设备制造商，其封装设备累计销售2000余台套，已经批量应用于长电科技、通富微电、苏州晶方等国内知名封测企业。

晶盛机电（300316.SZ）

晶盛机电主要营收来自单晶炉为核心的单晶硅生产设备，主要应用于光伏产业。据悉，2017年以来接到的总半导体设备订单才刚刚达到1.3亿元。不过，其获得了全球十大硅片供应商之一台湾合晶科技8000万元的设备订单。

2017年10月31日，晶盛机电与中环股份以及无锡市政府签订合作协议，计划在江苏宜興建设集成电路用大硅片生产与制造项目，总投资30亿美元，第一期投资15亿美元。国内极度缺乏大硅片项目，处于被日韩台卡脖子的状态，日本信越、日本SUMCO、台湾环球、德国Siltronic、韩国SKSiltronic五家垄断了98%的份额，其中日本的两家占了全球60%。因此晶盛机电该项目值得后续关注。

中微半导体

2017年中微半导体实现销售额11亿元。产品主要覆盖三大领域，一是LED芯片MOCVD机台。

中微半导体在2017年10月宣布，其MOCVD设备Prismo A7机型出货量已突破100台，迈向重要里程碑，该款MOCVD在2016年才推向市场，由于持续接到新订单，中微预计2017年底可望出货约120台MOCVD设备。

整个中国大陆市场2017年预计新增的MOCVD大约为200台，按照中微半导体的出货量，国内市场占有率可以达到30%-40%，甚至以上，这是非常不错的成绩。

第二个产品是介质刻蚀机，用于集成电路芯片制造，目前已经可以做到22nm及以下，中微半导体的14nm也在产线进行验证，同时在推进5nm的联合研究。

第三是硅通孔刻蚀设备，主要用于集成电路芯片的先进封装。

中微处于比较好的发展态势，MOCVD机台已经受住了量产的考验，将会迎来大批量出货时期，其多年来集中力量攻关的等离子体介质刻蚀机，已经在国际大厂部署多年。

上海微电子公司

在光刻机领域，上海微电子公司2016年半导体设备收入为2.9亿元，该公司具备研发和制造光刻机的能力。也是国内唯一从事光刻机研发制造的公司，不过目前只能做到90nm。业界主要制程工艺，基本已经在65nm以下，上海微电子也在进行65nm制程工艺光刻机的研发。

目前，荷兰ASML已经占据光刻机领域大约80%的市场份额，垄断了高端光刻机市场，日本尼康在高端光刻机上已经彻底败退， 英特尔、台积电、三星、格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆厂的光刻机目前基本来自ASML。

最先进的EUV光刻机全球仅有ASML能够生产，ASML在2016下半年出售的两台EUV光刻机，单价都超过1亿美元，而落后EUV一代的ArF光刻机平均售价也在四五千万欧元左右。可以说光刻机是集成电路制造领域最后的皇冠。

以上几家生产设备厂家，客户集中在国内，客户包括中芯国际、华力微电子等厂家。

中国集成电路产业的发展，直接影响甚至决定着上游国产设备厂家的发展。中国电科、北方华创、中微半导体、上海微电子、盛美半导体组成的中国半导体设备群体，成才空间巨大，星星之火，可以燎原。