中船重工：打造世界级电子特种气体供应商

【本刊讯】电子特种气体被称作电子工业的“血液”。中船重工718所副所长郭建增介绍说，718所将努力打造成为世界重要的电子特种气体供应商，为我国集成电路产业的发展提供坚实支撑。

电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称，是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。然而，电子特种气体过去长期被国外企业垄断，严重影响我国半导体产业的发展与产业链的完善，影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。

郭建增介绍，718所在国家重大专项的支持下，经过多年军民融合、持续技术创新，相继研制出高纯三氟化氮、六氟化钨等特种气体系列产品，打破国外企业十几年的垄断，结束了该领域相关产品的高价时代，主要产品三氟化氮的市场价格大幅下降，改变了我国高纯特种气体长期依赖进口的不利局面。

目前，718所三氟化氮、六氟化钨的生产规模均位居国内领先地位。三氟化氮、六氟化钨的国内市场覆盖率超过95%，国际市场覆盖率达50%；其他7种气体及10种混合气体已研制成功并具备批产条件，得到了国内半导体龙头企业的测试认证。

据介绍，718所将加快三氟化氮、六氟化钨等主要气体的产能建设，加大国际、国内2个市场的开拓力度，加快拓展半导体行业大宗气体的现场制气业务，力争在2020年前将三氟化氮、六氟化钨等4种气体产能及市场占有率实现世界第1。 （青青）