硼硅酸盐超高精度磨削表面粗糙度

硼硅酸盐超高精度磨削表面粗糙度

硼硅酸盐(BK7)广泛应用于汽车和光学工业，用于生产许多关键的光学元件。在正常的生产实践中，BK7元件的表面经过研磨、抛光等一系列的生产操作，以获得高光学质量的纳米光洁度。在本研究中，从BK7到机器平面使用超高精度研磨主轴安装在超高精度机床上。通过监测得到的高采样率的声学信号，观察该过程。本研究对三种磨削参数、切割深度、进给速度和转速进行了研究。

超高精度加工系统和加工参数的正确组合可以实现良好的表面处理。通过优化设计的响应面模型，实现了80nm的最小值。因此，使用低的进料速度、切削深度和高转速可以达到更好的表面处理效果。在BK7玻璃表面粗糙度上，其进料率是最具影响的参数。因此，增加给料会造成表面的不良。然而，在高的给料和切割深度下，提高轮速可以稍微改善表面粗糙度。此外，给料的影响取决于与速度的相互作用效应。

实验结果表明，地面试样的表面粗糙度具有较强的独立性。结果表明，不同进料速度的影响比切割深度和轮速的影响更明显。此外，还观察到声发射事件的振幅随磨削参数的变化而发生显著变化。研究结果表明，声发射传感技术有可能成为BK7玻璃超高精度磨削的有效监测方法。

刊名：Procedia CIRP（英）

刊期：2016年第45期

作者：G.Onwuka

编译：杜桂枝