MEMS中试平台：破解中小企业创新难题

记者 张小妹

MEMS中试平台：破解中小企业创新难题

记者 张小妹

纳米技术已经逐渐融入到我们的日常生活中了？没错，你知道吗，女生平时使用的防晒霜，开车族经常关注的汽车轮胎，时尚潮流的虚拟现实，这些都是纳米技术的功劳。

事实上，我们所认识的纳米产业，大多只是局限于纳米材料，其实，纳米产业涉及的范围十分广阔，还包括微纳制造、智慧健康、智能制造等等各方面。

产业发展的支撑服务平台

纳米产业作为苏州工业园区长期战略产业，微纳制造作为纳米产业的重要领域之一，一直是园区重点发展领域。但是，由于微纳制造设备投入巨大，运行维护花费大，中小型MEMS公司往往很难承受。而MEMS领域的代工厂和大封装厂门槛较高，加上我国MEMS产业的创新链不完善，缺乏工业级中试线的支撑，科研团队在研发做出样品后又无法直接进入代工厂，中小MEMS企业难以实现渐进式的规模化成长。

为了解决中小MEMS企业创新面临的产品工程化研发中试困境，支撑中小MEMS企业和产业的创新发展，按照苏州工业园区管委会战略部署，苏州纳米科技发展有限公司于2014年9月建成6英寸微纳机电制造（MEMS）中试平台，并专门成立了苏州纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司，负责平台运营。

江苏省（苏州）纳米产业技术研究院副院长，也是苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司的研发总监王敏锐博士参与了平台的早期筹备工作。他告诉记者，早在2012年，平台就开始策划筹备了，2014年通线成功。该平台是我国首个按照市场化、全开放模式运营的MEMS中试平台，与科研机构的概念验证、样品研发试验不同，平台主要开展工程化中试和中小批量生产服务，前端与产品样品研发衔接，后端与规模化工程衔接，是一个完全工业级别的中试线。

平台的建成填补了我国MEMS产业研发机构与规模化工厂之间的空白，构建了我国MEMS产业领域“研发—中试—规模生产”的完整产品创新技术支撑体系。

如今，平台跟众多企业和科研院合作，共同研发成功多种重要的MEMS产品技术平台和特种设备。目前已成功导入应用于移动通讯、消费电子、汽车电子、医疗器材、国防军工等诸多领域的硅麦克风芯片、压力传感芯片、红外温度传感芯片、微扫描镜芯片等产品，极大的支撑推动了相关MEMS企业的产品创新和发展。

MEMS产业集群，一起狂欢

MEMS作为苏州工业园区的优势产业领域，也是苏州纳米城聚焦推动的重点领域。经过多年的产业布局和运作，目前苏州工业园区MEMS产业的集群效应逐渐显现，形成了MEMS传感器的芯片设计、研发、中试、封装测试的全覆盖的产业特色，涌现了晶方半导体、敏芯、明皜等一批国内前十的知名企业，吸引了一大批海内外MEMS专家来园区创业和工作。

平台的投入运行极大的降低了MEMS产业进入门槛和投资成本，为初创企业的发展提供了绝好的机会。促进更多的MEMS相关高端人才和项目聚集园区，壮大MEMS产业规模。平台还为投资机构提供了挖掘MEMS高端优质项目的舞台，有利于提高项目投资针对性。产业诸要素的不断聚集和有机结合，促进园区包括MEMS产业在内的纳米产业快速发展，预计未来10年将逐步发展成为1000亿元的产业规模。

平台打通了中MEMS产业创新链，也诞生了 一个中国MEMS产业领域全新的品牌——MEMSRIGHT。目前，MEMSRIGHT服务客户达300家，遍及江苏、北京、上海乃至加拿大、美国、荷兰等地，与世界知名MEMS研发、设计、封装公司建立了合作关系。

在国际纳米产业峰会上，曾有专家做出评判，苏州的纳米产业极巨潜力，甚至超过了北京、上海和深圳等一线创新城市，甚至美国国会举行的针对中国新兴技术发展的听证会上，专门分析了苏州的纳米产业发展状况。总体上，园区MEMS微纳制造产业属于发展迅速新兴产业，行业正处于产业爆炸性增长的前期，极具前景。同时，行业人才匮乏问题也日渐显现和需求迫切。

“发展MEMS产业，既要看清楚又是，又要找准自身的不足。成立中试平台只是苏州MEMS产业发展的新起点，要构筑MEMS产业生态圈，还需要全国的产业资源，来突破资源限制、人才限制、技术限制。”王敏锐认为。

创新不是喊口号，我们又有新动作

近日，苏州纳米科技发展有限公司又牵头筹建江苏省微纳制造业创新中心，未来这家创新中心将落地在苏州纳米城内，预计，中心将引领整个行业有深刻影响的产品和共性技术的创新发展。

中心针对未来3～8年将产生重大影响的目标产品的共性技术进行研发，同时构建技术创新链和产业链。一旦共性技术完成，结合各个单位原本拥有的特殊技术，就可以差异化产品，形成共性技术共享、共赢的核心产业生态体系。

“这是相对核心的产业生态体系，在这个生态体系的外面，还有一个更大的生态体系——中国半导体行业协会。”这是MEMS领域国内唯一的行业协会，纳入了包括MEMS产品应用企业、MEMS芯片、器件封装、专用处理电路、信号智能处理和设备的公司，纳米公司既是协会的发起单位，也是秘书长单位。行业的快速发展，造就了协会生态体系的快速发展，中国半导体行业协会理事长曾经开玩笑称，中国半导体协会MEMS分会已经有300多家会员单位，比协会里其他分会的所有会员加起来都还多。

在整个产业创新领域，王敏锐谈了自己的看法。他认为，高科技产业的发展，存在一定的不确定性，大家都是在探索，这跟传统产业梯度转移的过程不同。同时，高科技产业的创新一旦突破，产业将具备的很强的爆发性和颠覆性，甚至会引起相对应的整个传统产业的灭亡。王敏锐给我们举了一个例子，硅麦克风的出现和规模化生产应用，传统的驻极体麦克风企业80%以上倒闭，全行业岌岌可危。

在他看来，进入“无人区”的产业创新是逐步积累的过程，需要漫长的沉淀。从历程来看，需要经历缓慢起步和快速增长的过程，对于苏州来说，如果要在战略新兴产业创新方面有所作为，特别是在市场还不能充分发挥资源支配作用的战略新兴产业，离不开政府的大力支持和引导。一定要认准方向、科学布局、持续投入、有所作为，快速构建完善的产业创新支撑体系，聚集产业创新诸要素，形成产业技术创新链、产业链和生态圈，加快实现战略新兴产业的突破性发展。