工艺参数对直流磁控溅射法制备氧化铝薄膜的试验研究_参考网

工艺参数对直流磁控溅射法制备氧化铝薄膜的试验研究

2017-06-23武文革,张新宇,伏宁娜等

制造技术与机床 2017年3期

关键词：磁控溅射氧化铝薄膜

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