基于光敏阵列直接调制的单栅式时栅位移传感器_参考网

基于光敏阵列直接调制的单栅式时栅位移传感器

2016-11-07李彦,付敏,朱革等

光学精密工程 2016年5期

关键词：光敏传感器

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