BAK641电子束蒸发镀膜机结构原理与维修技巧初探

徐柳　邓学文

【摘要】电子束蒸发镀膜是镀膜的一种重要的形式，镀膜机在工业生产中被大量的使用，本文将通过对BAK641电子束蒸发镀膜机的结构原理以及一些实例的叙述来探讨相关的维修技巧。

【关键词】电子束蒸发镀膜机；机构原理；维修技巧

1、引言

蒸发镀膜的方法是镀膜机镀膜的其中之一，蒸发镀膜需要在真空的条件下去对元器件进行镀膜的操作，属于一种比较古老的镀膜技术。随着科技的不断的发展，技术的不断进步，在许多的应用中，蒸发镀膜的方法逐渐的被一些新型的镀膜方法所取代，但是，如果是需要镀膜的面积比较大的时候，蒸发镀膜的方法相较于其他的镀膜方法而言是比较常用的，并且也是最经济的方法。

2、蒸发镀膜机的工作原理

蒸发镀膜的工作原理属于比较简单的一种，主要是需要在真空的环境中，将材料通过镀膜机中的电子束来进行加热，当达到一定的温度的时候，材料就会出现被蒸发的现象，蒸发掉的材料就会沉积在镀膜机的腔体内部，因此就会形成工业中所需要的薄膜。

3、蒸发镀膜机的特点

BAK641电子束蒸发镀膜机是在工业中比较常使用的薄膜制造设备，由于蒸发镀膜机的特点在生产薄膜的时候发挥了巨大的作用，薄膜的产生主要是通过镀膜机中的电子束的加热产生的。

3.1、镀膜机电子束加热蒸发的优点：

3.1.1、镀膜机中的电子束加热的方法与传统的电阻加热的方法相比较的话。电子束加热会产生更高的通量密度，这样的话对于高熔点的材料的蒸发比较有利，而且还可以使的蒸发的速率得到一定程度上的提高。3.1.2、蒸发镀膜机在工作的时候会将需要被蒸发的原材料放入到水冷铜坩埚内，这样就可以保证材料避免被污染，可以制造纯度比较高的薄膜。3.1.3、电子束蒸发的粒子动能比较的大，这样会有利于薄膜的精密性和结合力。

3.2、镀膜机电子束加热蒸发的缺点

3.2.1、电子束蒸发镀膜机的整体的构造比较的复杂，价格相较于其他的镀膜设备而言比较的偏高。3.2.2、镀膜机在工作的时候，如果蒸发源附近的蒸汽的密度比较高的话，就会使得电子束流和蒸汽粒子之间发生一些相互的作用，将会对电子的通量产生影响，使得电子的通量散失或者偏移轨道。同时你还可能会引发蒸汽和残余的气体的激发和电离，以此影响到整个薄膜的质量。

4、电子束蒸发镀膜机的组成结构

电子束蒸发镀膜机主要是由控制系统、真空气路系统以及电子枪系统组成。

4.1、电子束蒸发镀膜机中的真空气路

在真空的气路中有两个机泵，分别是前级机械泵和高真空低温泵，其中的低温泵作用主要是通过在非常低的温度来，依据冷伞吸附的原来来达到抽真空的目的。在高真空低温泵的启动的过程中，前级机械泵会先将管道处在一个真空的状态中，当管道的真空度达到一定的程度的时候，仟吉阀就会打开，这样前级机械泵会继续工作，使得管道和低温泵都有一个真空的状态，然后就是前级阀在重复上面的步骤。

4.2、电子束加热蒸发源

电子束的蒸发源主要是由电子枪和坩埚两部分组成，必要的时候可能会附带一套可以给镀膜机提供原材料的机械设备。在大多数的情况中，在镀膜机中会将产生以及控制電子束的控制装置和坩埚的设计组成一个整体。以下是电子束加热蒸发源的几种表现的结构形式；

4.2.1、采用直线阴极和静电聚焦方式加热的蒸发器。4.2.2、采用环状阴极和静电聚焦方式加热的蒸发器。4.2.3、采用轴向枪和静电远聚焦方式加热的蒸发器。4.2.4、采用轴向枪、磁聚焦和磁偏转90度方式加热的蒸发器。4.2.5、E型电子枪蒸发器，e型电子束蒸发源所发射的电子轨迹与”e”字相似，故简称e型枪。目前这种形式的蒸发源在真空蒸镀膜工艺中应用最为广泛。

5、BAK641电子束蒸发器镀膜机的维修技巧

电子蒸发束镀膜机在使用的过程中因为自身设备的特点可能会出现或大或小的故障问题，最常见到的故障大多是由电路短路、镀膜材料的残渣等原因。

5.1、真空的腔体内有焦糊味

设备在使用中，从真空腔体内发出焦糊味，首选要判断的是零件时候有发生损坏或者被烧毁，如果在排查后发现零件没有任何的异常或者损坏，那么工作人员就需要对设备进行逐步的排查，在维修的过程中需要对腔体采用排除的方法进行检测，电子蒸发源是整个系统的主要的结构，也是排查问题的时候最需要检测的位置。

5.2、电子枪无法正常的工作

由于电子束是依靠电子枪产生的，如果电子枪无法正常的工作会影响到整台设备的正常工作。首选需要确定的是高压电缆线的连接部位是否正常，如果正常的情况的话，就需要查看周围的环境是否比较的潮湿，潮湿的环境有可能会造成电路的短路，容易造成设备出现故障问题。

5.3、电子束流不能正常的加载

出现这种故障有可能是电极或者电极或者是调压器内部有积炭或有短路现象，它在低电流时还正常，但把电流升到一定的数值时就击穿，就会出现跳断路器的现象，表面上有时发现不了，最好用兆欧表对地摇一摇。

6、总结

镀膜机是工业中用来镀膜的主要设备，及时对设备进行检测以及保养对设备的正常工作有着非常大的影响，及时而又正确的维修不但可以节省维修的时间还可以提高设备的工作效率。

参考文献

[1]胡国兵.BAK641电子束蒸发镀膜机结构原理与维修，《科技创业家》，2013年12期

[2]杨燕.ZnO纳米线的热蒸发法制备及其受激辐射研究.凝聚态物理.苏州大学，2013（学位年度）