SiN_x:H膜沉积压强与扩散薄层电阻的匹配性研究_参考网

SiN_x:H膜沉积压强与扩散薄层电阻的匹配性研究

2016-05-17王敬蕊,苏树兵,诸葛霞

海峡科技与产业 2016年3期

关键词：薄层沉积电阻

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