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Sn掺杂In_3O_2半导体薄膜的制备及其性能研究
2015-12-16
顾锦华,龙路,陆轴
等
中南民族大学学报(自然科学版)
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2015年2期
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关键词:
半导体
薄膜
性能
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薄膜
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