国家重大科学仪器设备开发专项 “跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目启动

国家重大科学仪器设备开发专项 “跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目启动

2015年3月20日，国家重大科学仪器设备开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目首次工作会议在上海市计量测试技术研究院举行。国家质检总局科技司谢正文副处长主持会议，清华大学金国藩院士、同济大学李同保院士、上海理工大学庄松林院士，国家质检总局科技司王越薇副司长、上海市质量技术监督局陆敏总工程师、上海市科学技术委员会过浩敏处长等专家和领导出席会议。

“跨尺度微纳米测量仪的开发与应用”项目以我国近年多项创新技术及上海市计量测试技术研究院博士后科研成果为基础，突破我国在微纳米检测技术领域检测方法集成开发的诸多技术瓶颈，旨在攻克宏微联动多轴驱动和多测头集成、基于原子沉积光栅的纳米量值溯源等关键技术，研制用于计量、工业生产、产品检测中微形貌和几何尺寸测量的微纳米测量仪，并构建跨尺度、高精度微纳米测量与研发平台，为我国国防、航空航天、半导体制造业、微机电产业、大气污染物防治等领域提供有效的纳米计量技术的支持和保障，提升我国高新技术产业中微纳米尺寸定量化测量的技术水平。

项目于2014年10月获得国家科技部批准立项。项目的牵头单位为上海计测工程设备监理有限公司，第一技术支撑单位为上海市计量测试技术研究院，16家参加单位涉及清华大学、上海交通大学、复旦大学、同济大学等国内顶级高校，以及中国工程物理研究院、国家纳米中心等国内顶尖研究机构。其中，项目负责人由上海市计量测试技术研究院邵力教授级高级工程师担任，技术负责人由李同保院士担任，项目专家组组长由金国藩院士担任，项目监理组组长由庄松林院士担任。会议报告了项目及任务实施方案，介绍了项目管理办法，并由专家现场进行了技术点评和项目管理点评。 （本刊通讯员）