气壮华夏 追逐梦想—— 中船重工第七一八研究所特种气体产业发展纪实

■ 白 松 洪晓明 刘利君 孟祥军

气壮华夏 追逐梦想
—— 中船重工第七一八研究所特种气体产业发展纪实

■ 白 松 洪晓明 刘利君 孟祥军

中国船舶重工集团公司第七一八研究所已建成全国最大的半导体、液晶用特种气体研发生产基地。本世纪初，在我国加快推进军民融合的引领下，“特气人”瞄准民族工业发展需求，力破国外垄断优势；在军工技术中不断激发创新活力，在市场竞争中不断开拓进取，在降本增效上不断深化提升；以国家战略发展为己任，承担国家02专项，肩负起完善半导体产业链、奠定发展基础的重任。走出一条从无到有，从小到大，由弱到强的发展之路，为国家科技强国战略，加快重点行业关键产品进口替代做出了积极贡献。

高纯三氟化氮特种气体，作为清洗剂和蚀刻剂被广泛用于半导体、液晶面板及薄膜太阳能制造等产业，是现代化电子行业中极为重要的生产原料。2014年，三氟化氮全球市场发展与调整并存，出现因生产线老化停产、以及半导体技术升级需求增加导致的供求失衡，众多半导体、液晶生产商面临着“没米下锅”甚至濒临停产的不利境地，纷纷向中国唯一高纯三氟化氮生产厂家，中国船舶重工集团公司第七一八研究所（简称七一八所）要求增加气体供货量，甚至表示加价提货。面对如此诱惑，七一八所做出确保国内中资企业用气所需，适量均衡外方需求，严格按协议价格供货的营销策略，力保我国企业在此次货源危机中平稳渡过。在经济利益和社会责任前，再次展现了军工人一贯的责任与担当。

回看七一八所特种气体产业发展历程，在我国加快推进军民融合的引领下，“特气人”瞄准民族工业发展需求，在自有军工技术中不断激发创新活力，逐步建立适应市场需求的特种气体产业规模，在质量成本上不断深化管理提升，走出一条从无到有，从小到大，由弱到强的发展之路，为国家科技强国战略，加快重点行业关键产品进口替代做出了积极贡献。

自主研发 力破垄断

随着半导体和液晶面板等电子产品的使用日渐普及，三氟化氮等特种气体消耗量增长迅猛。本世纪初，以美、日、韩为代表的主要生产国，利用产业链的主导优势，以战略物资为由对中国进口三氟化氮进行严格管控，国家电子工业发展十分艰难。

七一八所对三氟化氮气体的研制，最早可追溯到上世纪八十年代初期，每年为自有军工项目生产少量纯度要求不高的三氟化氮气体。本世纪初，为破解垄断危机抢抓市场机遇，七一八所果断组建特种气体工程部，立项开展高纯三氟化氮特种气体及其生产工艺的研发。2001年8月，成立了三氟化氮产业发展筹备领导小组；12月，为攻克气体制备中的技术瓶颈，又成立三氟化氮项目扩产领导小组和现场工作组；2002年9月，成功研制出99.99%的三氟化氮气体；12月，七一八所自主研发的高纯三氟化氮特种气体，通过新产品鉴定，产品性能达到国际同类产品的先进水平。

特种电子气体对半导体生产工艺、设备运行乃至产品质量会产生重要的影响和制约作用，随着电子技术向高性能、多功能、大容量、微型化方向发展，对电子气体提出了更高的技术要求。“特气人”坚信外国能做到的，中国也能做。通过技术创新和工艺完善，2006年将三氟化氮气体纯度进一步提高到99.995%和99.999%的新高度，一举站在了世界同类产品的顶峰。国产高纯三氟化氮特种气体成功问世，彻底打破了日、美、韩等国的技术垄断和价格控制，结束了我国长期依赖进口受制于人的历史，国内三氟化氮气体采购价格降幅陆续达70%以上，比起单纯依赖进口，仅电子行业便可每年为国家节省外汇几十亿元。由原材料价格下降带来的终端消费品价格降幅同样显著，以液晶电视为例，原先一台40寸液晶电视的价格动辄上万，现在也仅需花费五千元左右。

高纯三氟化氮特种气体取得快速发展的同时，七一八所积极跟踪国际氟化工前沿技术，从未停止过探索新技术研发新产品的步伐。从2003年始，先后立项开展高纯六氟化钨、高纯氘气、三氟甲磺酸、高纯铵等20多种高纯特种气体的研发工作。2008年，开始将一部分特种气体小批量投放市场，显示出良好的市场前景。

七一八所特种气体项目先后列入国家重点新产品、国家火炬计划、国家高新技术产品和国家02重大专项。目前，已组建成立“河北省特种气体工程技术研究中心”，获得国家发明专利授权9项，特种气体产能达到1500吨/年，成为全国最大的半导体、液晶用特种气体研发生产基地，一举跻身国际前列。

韬光养晦 破茧成蝶

横空出世的国产高纯三氟化氮等特种气体，虽然在产品质量上毫不逊色国外同类产品，但与当时国际巨头同台竞技、同市竞价的步履却姗姗来迟。七一八所研发的高纯特种气体，起初因名不见经传，市场拓展十分困难：国际上，日、美、韩三国垄断着全球电子行业的供给链，生产厂家不敢轻易更换重要的生产原料；国内因从未有过生产厂家，产品一时间得不到认可。面对市场准入的重重避垒，为在最短时间内打进市场，七一八所将营销策略定位贴牌生产。2003年12月，经日本某知名气体供货商的严格检验，七一八所自主研发生产的高纯三氟化氮特种气体在产品质量、气体纯度和稳定性等方面全部符合要求，达到国际先进水平。随后，该企业与七一八所达成贴牌生产、包销所有产品的协议，产品几乎全部销售到国外公司，部分产品再被贴牌返销到中国市场。

宝剑锋从磨砺出，梅花香自苦寒来。起初国产三氟化氮由于知名度不高，在国内外市场上没有丝毫“话语权”。然而“特气人”始终坚持不懈地开拓市场，通过积极参加国内外会展和行业会议、主动与国内外经销商和直接用户联系、不间断走访用气厂家等多渠道进行市场拓展。因产品知名度低，连销售人员也回忆不清让人家多少次拒之门外，甩过多少冷脸，坐过多少冷板凳。2006年，终于获得两家世界知名气体公司的订单，摆脱了单一客户的尴尬局面。2007年，又与4家比较知名的国际采购商建立合作关系。“特气人”始终在等待一个能以自身面目展现世人的机会。

2008年，国际金融危机蔓延全球，三氟化氮消费市场由于价格下行造成停产减产引发的供应缺口逐步显现。大浪淘沙，真金始现。“特气人”危中见机，将眼光锁定在寻求国内商机，通过合理让利促使众多的厂商试用自己的产品，积极开展准入认证。功夫不负有心人，七一八所实现了以自己的品牌：派瑞（PERIC），冠名自己生产的特种气体，以为国内知名集成电路生产商直接供货作为开端，由点带面顺利铺开。截至目前，派瑞特种气体已实现国内半导体和液晶面板厂商的用户全覆盖，三氟化氮市场占有率接近50%。

从立项研发到贴牌生产，再以派瑞（PERIC）特种气体品牌亮剑市场，荣誉光环的背后饱含着干部职工们夜以继日的汗水和辛酸。“派瑞（PERIC）特种气体”的加入，使得国外厂商在国内销售的优势消失殆尽，国际三氟化氮供给格局重新洗牌，七一八所三氟化氮生产线一直保持满产状态，仓库基本处于零库存状态。

降本增效 以人为本

初来乍到的派瑞特种气体无疑是初生牛犊，国产高纯三氟化氮的闪亮登场虽引来“高光”无数，然而若想与国际高手长期同台竞技却绝非易事。产业规模、生产成本、人才水平等诸多实实在在的差距使生产成本起初难以与同业对手相比拟，上市之初还能保持较好的利润，然而由三氟化氮消费需求带动产能的增长也非常迅速，好景不长，2005年，三氟化氮产品价格开始走低；2007年，国外三氟化氮生产巨头率先发起价格战，三氟化氮售价大幅下降，多数厂商的售价都逼近了成本边缘。

以降低成本为目标，有些企业选择裁减人员、使用廉价原料、甚至降低产品品质的方式来实现，七一八所选择牢牢抓住以人为本的核心，逐步完善与发展相适应的管理制度，最大限度激发调动全员的创新活力，扎扎实实地将降本增效工作落到实处，连续多年成本降幅在一成以上，硬生生将成本从劣势做成为又一核心竞争力。

薪酬体系的变革取得了最明显的效果。通过将长期开展的工艺、质量、操作技能等职业教育培训成果与工资等级挂钩，定期开展晋级和保级考试：职工每通过相应职级的考试便可晋升职级，体现在工资回报中，保级考试制度则有效杜绝了“不思进取”和技能退化的现象，建立了能上能下的薪酬体系；绩效方面，将奖金与若干主要效益参数直接挂钩；加大对创新成果、技改措施奖励的力度：凡有对优化工艺、降本增效等改善投入产出和效率的技改措施予以表彰奖励。如此一来，职工从技改成果中不仅可以获得一次性奖励，提升的生产效益也将长期体现在绩效收益中。制度的完善使员工收益与企业效益紧密联系在一起，大到设备的稳定运行、小到参数的轻微波动都与职工的收入息息相关。

再好的制度没有公平严格的尺度也很难发挥积极的效果。起初个别职工对新制度较为抵触，有的考试差几分不够晋级来找领导说情，管理人员顶住压力，一次都没有变通；奖励上坚持用数据说话，产率提高多少、效率提升多少，必须看得直观、说的明白。时间久了，大家对制度的公平和权威有了认可，提高收入也找到了明确的方向，渐渐地，传统企业那种“好往领导身上使劲”现象减少了，为改进效益而刻苦钻研的员工多了，大家都朝着提高交货量和投入产出使劲，思想高度统一。

采访中，笔者曾询问主管生产的负责人通过哪些改进降低了成本。思维片刻，他不好意思地笑着说：“真的不好说，太多了，如今创新和技改不仅仅是科技人员关注，一线职工的热情同样高涨。职工的效益观念变强了，一方面不断通过学习培训自我提升，同时也在用新的知识改进生产，每位职工都变得善于思考，不懂就学就问。各类技改每年多达几十项，大大小小汇集起来能降低成本一成以上，生产线整体已进入第四代工艺水平。近两年成功引入了ERP和OA系统，全员参与下效率提高显著，有的车间原先需要十多个岗位，现在只要四个就够了。如果让三四年前的工人一下子穿越到现在，可能操作起来都无从下手。成本是我们的优势，优势的核心其实是人。”

诸如此类的管理提升还有很多。几年间，七一八所特气产业在激烈的外部竞争环境中始终保持着内部的良性运转，职工的素质、贡献和收入不断提高，劳动的强度却不断降低。数据显示，七一八所特气产业人均收入年均增长15%，人力成本占产值比重逐年下降15.3%，人均GDP年均增幅39%，已达到世界先进企业水平。2013-14年，三氟化氮等特种气体在市场需求强劲增长的态势下，却因竞争激烈导致了美日韩三国的生产企业出现不同程度的产能调整。派瑞（PERIC）特种气体，凭借不断优化的生产工艺和日渐成熟的精益管理，将生产成本牢牢压在市场售价之下，始终保留了合理的利润空间，延续着满产、扩产的良好状态。经历了市场竞争战火的洗礼，却换得百炼成钢之身，在当前国家工业深度调整的发展格局中，依然取得傲人的成绩。

立志高远 追逐梦想

“特气人”凭借军工人不怕吃苦，敢为人先的拼搏精神，在高纯电子气体领域不断求真探索，与高手共舞。他们深深明白，要想在特种气体领域不受制于人，除了要不断依靠创新完成自我超越，还要责无旁贷地担当起推动高新科技产业发展的重任。当前，中国已经成为全球最大的集成电路市场，然而国产芯片仍面临自给率严重不足的尴尬境地，2014年中国集成电路进口远超石油成为第一大进口商品，达到2865亿美元，进出口逆差达上千亿美元。国产芯片的制造工艺水平相对落后，高端芯片及高纯电子特种气体几乎全部依赖进口，难以对构建国家产业核心竞争力、保障信息安全形成有力支撑。

在严峻的发展形势和紧迫的国产化需求下，2013年1月，由第七一八研究所牵头，联合相关单位承担的“高纯电子气体研发及产业化”项目，正式立项列入国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大科技专项(简称02专项)。该项目主要研究开发集成电路制造工艺用特种气体制备关键共性技术，有望从根本上改变当前我国高纯电子气体严重依赖进口的现状，完善半导体产业链，有力推动我国半导体行业技术的整体进步。七一八所牵头承担28项高纯电子气体和高纯电子混合气的研制任务，大多数气体是过去没有步足过的，科技工作者夜以继日攻关不缀。截止目前，研制工作已经取得阶段性成果；多数气体已经完成样品的制备。

2015年5月，中国船舶重工集团公司董事长胡问鸣亲临七一八所视察工作时曾给予这样的评价：七一八所是集团公司军民融合产业发展的典范。以高纯三氟化氮电子特种气体为代表的民品科技产业，依托军工科技力量，结束了我国长期依赖进口的历史，一举站在了世界高度，为国家科技强国战略提供了有力支撑；主持着国家02科技重大专项“高纯电子气体研发及产业化”课题的实施，要继续围绕国家战略深入推进军民融合，强化创新驱动，致力为中国制造2025打造坚实的发展基础。

放眼未来，脚下的征程依然漫长。“特气人”已迈开脚下坚实的步伐，向着建设“国家高纯电子气体工程技术研究中心”，建成我国最大、世界一流高纯电子气体产业基地，打造国际知名的特种气体供应商的梦想，奋发前行，矢志不移。

（作者单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所）