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离子注入表面改性

2015-01-27

制造技术与机床 2015年3期
关键词:处理工艺真空工件

离子注入属于物理气相沉积范围,是将所需物质的离子在电场中加速后高速轰击工件表面,并使之注入工件表面一定深度的真空处理工艺。离子注入将引起材料表层成分和结构发生变化,以及原子环境和电子组态等微观状态的扰动,因而导致了材料的各种物理、化学和力学性能的变化。离子注入表面改性特征如下:1)采用离子注入法可能获得不同于平衡结构的特殊物质,是开发新型材料的非常独特的方法。2)离子注入温度和注入后的温度可以任意控制,且在真空中进行,不发生氧化,不变形,不产生退火软化现象,表面粗糙度一般无变化,可作为最终处理工艺。3)可控性和重复性好。4)可获得两层或两层以上性能不同的复合材料,复合层不易脱落,注入层薄,工件尺寸基本不变。目前离子注入工艺已应用于许多工业部门,尤其是在工具模具制造业效益突出。

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