彩色滤光片生产中涂布Mura的改善

【摘 要】本文从生产角度阐述了彩色滤光片（简称彩膜CF）一个很重要的工序-涂布制程中所容易产生的一种Mura缺陷，通过缺陷分析，色度膜厚测量做对比等多种手法，明确说明了不良Mura所发生的原因，并通过多组实验作对比，得出了控制涂布Mura的最佳方法。

【关键词】Mura缺陷，彩色滤光片，Nozzle堵塞

前言

目前，平板显示已经成为显示产业的主角，其中最成功应用最广泛的当属TFT-LCD，它已广泛地使用在笔记本电脑、手机、显示器和电视等和人类生活相关的各类电子产品上；它具有功耗低、外形薄、重量轻等特征，而彩色滤光片是液晶显示器件的重要组成部件，占TFT-LCD所有制造成本的20%以上，高品质的彩色滤光片对TFT-LCD的色彩表现具有决定性的影响，所以保证彩色滤光片的合格率关系到公司的竞争力和利益。本文通过多年来CF生产制造经验，总结出涂布过程中易产生的一种常见不良Mura，通过多次实验，提出了有效的改善方案，提升彩色滤光片生产的合格率。

一. 涂布Mura

在CF制造过程中，黄光的每道工序（一般有BM/R/G/B/PS）都涉及到涂布工序，它的作用是将光阻均匀的涂到基板上去（如图1所示）。

玻璃基板在B线涂布过后，有时会存在线Mura检测机台的检查发现沿着玻璃长边方向出现一道宽度均等的Mura，不良为Glass共通Mura，如有出现均是批量性不良，该不良严重影响产品的合格率，对公司的成本造成很大损害。

二. 调查与实验

（一）原因调查

由于Mura检查机台在线体分布在涂布工序之后（如图2所示），所以检查出不良Mura后，往前道机台推理，发现不良Mura的方向与基板涂布方向一致，推测可能为Nozzle 堵塞，造成涂布时光阻不均匀，从而产生涂布Mura。

（二）不良分析

针对不良品进行特性分析，用色度机对Mura区特性测量，结果：mura区B画素（Y，x，y）较正常区明显偏大，具体见图3，由特性得出不良Mura是由B制程产生，由特性可以看出不良区的膜厚偏薄。

（三）实验验证

a. 在Mura检查机发生不良Mura后，针对B涂布机的Nozzle 用无尘布进行擦拭清洁，擦拭后流片确认，不良Mura任然继续存在。

b. 继续清洁Nozzle ，用刮片对Nozzle内部清洁，发现Nozzle里有轻微堵塞现象，量测位置发现和不良Mura位置相符，疏通Nozzle 后，流片確认发现不良Mura任然存在，但程度已有所变轻。

c. 拆解Nozzle ，发现不良Mura位置对应的Nozzle处，有光阻已凝结，导致堵塞，清洁后装上流片确认，不良Mura消失。

三. 结论

通过以上分析和实验得出，光阻凝结导致Nozzle堵塞，是产生玻璃长边方向不良Mura的根本原因。而导致光阻凝结的原因是Nozzle长时间没有清洁，后续根据大量流片确认，多次实验结果，得出目前生产的光阻每班（12小时）清洁Nozzle一次，包含擦、刮等动作，从而可以保证Nozzle不会堵塞；后续如更换光阻，还需进一步实验。

参考文献：

[1] 任书铭，郭小军，范刚洪，彩色滤光片制程中显影液残留缺陷的改善 1006-6268（2012）03-0021-05

[2] 王银春， TFT-LCD生产中彩色滤光片引起的不良分析及改善

作者简介：

高广修（1983-），男，南京中电熊猫液晶材料科技有限公司工程师，主要从事CF生产的技术管理和生产管理工作。