英诺推出耐等离子辐照的聚酰亚胺高功能塑料

英诺推出耐等离子辐照的聚酰亚胺高功能塑料

日前，英诺（上海）工程塑料有限公司向微电子行业客户推出一款牌号为“N-140”的聚酰亚胺（PI）材料。该款材料耐等离子气体辐照，综合性能优良，可满足半导体制造工序中对原材料的苛刻要求。

英诺聚酰亚胺制品

经过改良配方后的N-140牌号聚酰亚胺具有更好的耐等离子辐射及耐高温性能；在等离子气体腐蚀下更低的分解性，对晶圆造成的污染更小；其它性能如强度、绝缘性、耐磨性亦有不错的表现。这款材料主要用在半导体前工序干法刻蚀领域及一些高端设备上的零配件；现已批量应用在国内的大型FAB企业及先进的半导体设备企业。这款高端国产聚酰亚胺材料完全自主知识产权，和国外同款类材料性能相当，可以作为替代材料来使用。在大幅度降低成本的同时，更短的交货周期、专业的技术团队，使客户享受到更多本土化服务的优势。

英诺公司N-140牌号聚酰亚胺材料具有的耐等离子辐照、耐高温、耐摩擦、高绝缘、高强度等综合优良性能；已广泛应用于：半导体、液晶显示等微电子领域；在微电子领域用N-140牌号聚酰亚胺型材加工的工件有：CLAMP RING、止动器、阀帽、固定环、隔热帽、舟皿插片、摩擦导片、真空棒头、热绝缘子、水槽、运送盘、真空把手、测试基座、传输组件等。这些工件在特殊的工作环境中保持稳定的性能，为微电子产品良率的提升及稳定的可持续生产发挥了关键作用。

英诺工程塑料愿做微电子领域高端零配件及材料国产化的践行者！我们将把一流的产品和优质的服务提供给广大客户。英诺公司的技术团队为客户量身定制完善的产品解决方案；并且愿意和客户一起研究开发更多领域的新应用！