射频磁控溅射制备MoS2薄膜及其储锂性能研究_参考网

射频磁控溅射制备MoS2薄膜及其储锂性能研究

2014-02-28王丽秀,魏林,陶占良等

无机化学学报 2014年9期

关键词：磁控溅射射频薄膜

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