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上海卓晶半导体科技有限公司

2013-08-15

电子工业专用设备 2013年2期
关键词:光刻机衬底厂家

上海卓晶半导体科技有限公司位于上海张江高科技园区,是上海市高科技企业,与上海交大、华东理工展开合作,开发了全自动、高效的衬底检测分选设备,填补了国家空白,为衬底生产和pss工艺提供了增值、高效、低成本的解决手段,已经通过多家客户的工艺验证。

同时该公司提供Nikon二手光刻机的翻新改造业务,拥有原厂的核心技术,技术能力涵盖0.13~0.8μm的全系列光刻机,技术精良、服务快速高效,在国内的LED、IC等厂家已有多台销售和高端设备调试,以高品质受到市场好评,是目前国内pss以及高端Nikon光刻机翻新的首选厂家。

上海卓晶半导体科技有限公司坚持技术创新,诚信,卓越的经营理念,努力为客户提供最适合的超值的产品和服务。

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