微波等离子体炬法合成金刚石薄膜的研究

黄芳亮

摘要：现采用微波等离子体炬法合成了金刚石薄膜，并探讨了微波功率变化对对金刚石膜质量的影响。结果表明：随着微波功率的增加，制备的金刚石薄膜结晶性越来越好；通过拉曼分析在微波功率800W，发现在1332cm-1处金刚石峰的相对强度最高，金刚石相纯度最高。

关键词：微波等离子体炬；金刚石薄膜；微波功率