中国太阳能电池制造设备的现状及发展

摘 要：我国电子专用设备工业协会统计数据显示，2008年我国光伏设备销售收入达25亿元。我国光伏设备企业已具备成套供应能力，从硅片加工，电池片、组件的生产，纯水的制备、环保、净化工程，以及组件检测设备和模拟器等。部分产品已开始对外出口。硅材料加工设备中性价比高，在国内市场占据绝对统治地位，并已批量出口。多线切割机也已取得技术性突破，多晶硅铸锭炉也已在国内企业中得到广泛使用。

关键词：硅片加工 硅材料生产 多晶铸锭炉

中图分类号：TK519 文献标识码：A 文章编号：1672-3791（2013）01（a）-0081-01

1 国内太阳能电池设备市场现状

80年代末，国内太阳能电池产量为几百千瓦，2002年为2 MW左右。2005年为375 MW，在2004年增长300%的基础上增长了136%，2006年仍有较大幅度增长。

同时，太阳能电池设备市场也在高速增长，2005年太阳能电池生产线产能接近450 MW，是2002年100倍左右，按每条线设备5000万元人民币投资额计算，设备市场高达8.5亿元人民币，若算上材料制造设备，设备国内市场总额将超过12亿元人民币，国产设备约占三分之一，为国家节约外汇约一亿美元，为用户节省近8亿元人民币。

2 国内太阳能电池设备技术现状

2002年以前，国内设备大多源于进口，国产设备的性能、可靠性和实用性无法得到保证。通过和业内一流企业进行合作，引进先进的工艺技术，历经多次技术升级，国产的关键设备如扩散炉、低温烘干炉、等离子刻蚀机、高温烧结炉，层压机、清洗机等相继替代进口设备。特别是2004年热壁式生产型PECVD设备成功研制，除了全自动丝网印刷机外，我国已基本具备太阳能电池制造设备的整线供给能力。PECVD工艺水平已接近世界先进水平，得到了国内用户的肯定，但自动化程度尚有差距。

自动分检机和全自动丝网印刷机的核心技术尚未取得突破，与国外差距较大，因此依靠进口。单晶炉技术与国际先进水平差距不大，且具性价比优势。

3 国内太阳能电池设备厂家情况

目前国内约有20多家相关设备厂商，国产设备在国内已得到广泛认可。与其他国产设备在提供设备的同时无法提供相应工艺的尴尬状况相比，国产光伏设备已初步解决设备与工艺脱节的问题，在提供设备的同时，也可提供对应工艺参数，与国际同行站在了同一水平，这也是光伏设备销售额翻番的重要原因。

4 我国光伏设备的发展方向

目前国产设备占据国内一半以上市场，是因性价比而非性能指标，关键技术与国外厂商尚有一定差距。因此要不断提高设备的性能、稳定性和工艺能力。光伏设备厂商应与国内一流的光伏企业结盟，把先进工艺物化在设备中，提供质量稳定、技术先进、满足工艺需要的优质设备，打破设备和工艺脱节的格局，与工艺技术同步发展。

5 我国光伏设备的发展优势

依靠迅猛发展的本土巨大市场，在近几年，我国光伏产业增幅远超全球平均水平。设备和工艺需求脱节的发展模式已经改变，设备企业与工艺技术同步发展，若无国产设备做支撑，我国的光伏企业将丧失成本竞争优势。光伏设备的技术要求与IC行业相比，略低一些，这也使得国内企业在中低端设备领域大有作为。

6 我国光伏设备市场分析

目前有95%以上产品依赖国外市场，因此要大力开拓国内市场，随时应对发达国家政策变化带来的不利影响。2005年《可再生能源法》公布后，相关部门陆续发布文件，出台了一系列政策措施，鼓励发展国内市场。国内我国的太阳能电池产业将会有更好、更快的发展。

太阳能电池国产设备发展很快，据行业协会统计，在2008年我国太阳能电池设备销售额高达17.66亿元，总销售收入占半导体设备的81%，已有几十家企业从事相关设备的研制。

7 结论

我国具备光伏产业优势，光伏产业竞争的核心是技术，而发展国产设备正符合行业发展方向，随着性能的不断完善和提高，其前景十分美好。现在正是高速发展期，国产设备融合了先进的工艺技术，以高性价比赢得了良好的市场声誉。

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