角度计量中三光栅光学系统应用分析

王胜磊　刘福　雷正伟　张永伟

摘要：在目前的角度计量工作中普遍采用光电轴角编码器作为测角器件，而光栅系统由于具有分辨率高、稳定性好、出错率低、环境适应性强等特点而得到了计量界的认可。结合计量工作误差处理严谨、不确定度来源分析透彻的要求，在分析了三光栅光学系统原理的基础上，提出了针对其正弦输出信号的自适应滤波方法。

关键词：角度计量； 三光栅； 衍射； 自适应滤波

中图分类号：TN911.7434 文献标识码：A 文章编号：1004373X(2012)19017902