约翰内斯·海德汉博士（中国）有限公司

藉着中国大陆半导体和平板显示市场近几年的繁荣之势，海德汉积极投身开拓中国电子设备制造和FPD市场。2012年3月20-22日，在上海新国际博览中心E1馆1213展位，海德汉将带着旗下针对半导体与平板显示生产设备行业的最新产品及先进技术亮相SEMICON/FPD China 2012。

在高产量加工过程中能保持持续的高质量和高精度是高效生产的关键。为此，海德汉提供大量具有高质量信号输出的直线光栅尺和角度编码器的选择，确保定位精度准确。得益于它们面向实际应用的机械结构,实用性的高精度和可定义的温度特性,使海德汉光栅尺或和角度编码器能确保满足不同测量任务和安装条件要求。

SEMIECON/FPD 2012 E1馆1213展位

敞开式增量直线光栅尺 LIF 400

精度高和安装简单

应用

●半导体后端生产设备

●计量仪器特点

●紧凑型读数头和光栅尺

●PRECIMET背胶固定，安装简单

●抗污染能力较强

●限位开关和回零轨技术参数

●玻璃基体或Zerodur玻璃陶瓷基体的SUPRADUR相位光栅

●信号周期 4μm

●精度等级 ± 3μm

●典型位置误差

单信号周期内 ±0.04μm

●测量长度 至1020mm

●接口 1VPP或TTL

敞开式增量直线光栅尺 LIDA 400

用于高速运动和大测量范围

应用

●半导体工业生产和检测设备

●PCB电路板组装机

●测量机特点

●运动速度快

●测量长度大

●安装公差大

●限位开关

●多种型号可供选择技术参数

●钢带，玻璃或玻璃陶瓷基体的METALLUR光栅

●信号周期 20μm

●测量步距 至0.05μm

●精度等级 至±5μm

●典型位置误差

单信号周期内± 0.2μm

●测量长度 至30m

●接口 1VPP或TTL

无内置轴承增量式角度编码器

玻璃圆光栅码盘/轮毂总成

应用

●计量仪器

●高速旋转轴特点

●尺寸紧凑

●高精度

●信号误差补偿技术参数

●玻璃基体的METALLUR光栅尺

●信号周期数 9000/18000

●系统精度 ±5/±3角秒

●直径 外径 71/150mm

内径 25/95mm

●接口 1VPP或TT

系统安全要求日益提高，网络渗透日趋深入，因此新机器和新系统的要求也更加严格。

海德汉公司带有绝对位置信号输出的光栅尺和编码器在提高生产和加工过程的效率和可靠性方面发挥着重大作用，帮助用户在保持质量稳定的同时提高产量。高分辨率的特点使这些编码器能准确控制速度，因此能提高速度稳定性和提高定位特性。

敞开式绝对直线光栅尺 LIC 4000

精度高和测量范围大

应用

●半导体工业的测量和生产设备

●PCB电路板组装机

●测量机

●直接驱动特点

●大测量范围的绝对位置值

●高分辨率

●结构紧凑

●安装和诊断简单技术参数

●有绝对刻轨的METALLUR钢带

●分辨率 最小至 0.001μm（1nm）

●精度等级 达±5μm

●典型位置误差

单信号周期内 ±0.08μm

●测量长度 至27m

●运动速度 至8m/s

●接口 EnDat 2.2

绝对式模块旋转编码器 ECN 1123/EQN 1135

单圈/多圈版

应用

●伺服电机反馈系统

●机械手应用

●一般自动化系统特点

●结构紧凑

●安装简单

●功能安全技术参数

●单圈测量步距数 8388608(23bits)

●分辨率（EQN 1135）4096(12bits)

●系统精度 ±60''

●接口 EnDat 2.28MHz时钟频率

●安全等级 SIL 2，EN 615083级 PL d，EN ISO 13849-1:2008

●供电电压 DC 3.6至14V