我国成功研发二次离子质谱仪关键部件

我国成功研发二次离子质谱仪关键部件

【本刊讯】国家科技支撑计划课题“二次离子质谱仪器核心技术及关键部件研究与开发”不久前通过验收。通过该课题的实施，新建和完善了5个质谱仪器关键部件研发基地和10多个研究试验平台，培养了一批优秀的质谱仪器研发人员，为今后大型高端质谱仪器的自主研发奠定了基础。

据了解，该课题由中国地质科学院地质研究所北京离子探针中心牵头，联合了中国计量科学研究院、复旦大学、中国科学院大连化学物理研究所和北京普析通用仪器有限责任公司等单位共同承担。课题组开展了大型质谱仪研究实验平台搭建和共性关键技术攻关、一次离子气体源的研制及新型离子源的创新研究，研制出自动换样及三维微聚焦系统、二次离子源及二次质谱接口、离子阱离子反应装置、飞行时间质量分析器、TOF专用高速数字转换器以及二次离子质谱总控系统及软件系统等关键部件，并开展了其应用示范及产业化研究。

课题形成了有关二次离子质谱（SIMS）和TOF串联质谱的新技术、新产品、新装置和计算机软件等共19项成果，其中5项已在相关领域成功应用，冷阴极双等离子气体源工艺研究等具有创新性，申请国内发明专利24项、国际发明专利6项。课题组研制的双等离子体气体源，提供给中国地质科学院地质研究所北京离子探针中心作为SHRIMP II大型二次离子探针质谱的核心关键部件，大大提高了仪器的有效机时。

据市场需求分析，目前我国的质谱仪器将达到6亿美元的市场规模，而二次离子质谱（SIMS）的市场需求也随着材料科学、生命科学的巨大需求而迅速增加。该课题研究成果将有效带动飞行时间质谱、串联质谱、高分辨ICP、辉光放电、高分辨气体同位素等高端质谱仪器自主研制的跨越式发展，推动建立集科学仪器应用、共享和研发等功能于一体的大型科学仪器中心。